[实用新型]加热器工作环境模拟测试装置

权利要求书

1.加热器工作环境模拟测试装置，其特征在于，包括一测试腔，所述测试腔为用于摆放待测试加热器的空间，所述测试腔包括开口向上的槽体以及顶板，所述顶板覆盖所述槽体的上端开口；

还包括一真空系统，所述真空系统包括真空管路以及机械真空泵，所述机械真空泵的吸气口通过真空管路与所述测试腔对接导通；

还包括一气源输送系统，所述气源输送系统包括用于输入工艺气体的气源输入管路，所述气源输入管路与所述测试腔对接导通；

还包括一传感系统，所述传感系统包括用于检测测试腔内气压的气压传感器以及用于检测待测试加热器的制热面的温度的温度传感器，所述气压传感器安装在所述测试腔上，所述温度传感器的感应面与待测试加热器的制热面接触。

2.根据权利要求1所述的加热器工作环境模拟测试装置，其特征在于：还包括一加热适配器，所述加热适配器可拆卸的安装在所述测试腔的底部；

所述加热适配器与待测试加热器可拆卸连接；

所述待测试加热器通过所述加热适配器与电源相连。

3.根据权利要求1所述的加热器工作环境模拟测试装置，其特征在于：所述待测试加热器是一化学气相沉积加热器，所述化学气相沉积加热器包括外壳以及位于外壳内的加热丝；

还包括一用于输送惰性气体的保护气体输送系统，所述保护气体输送系统包括一输气管路，所述输气管路与所述外壳的内腔导通；

所述输气管路上安装有DPC流量控制器。

4.根据权利要求1所述的加热器工作环境模拟测试装置，其特征在于：所述气源输入管路上安装有一进气控制阀，所述进气控制阀是MFC质量流量控制器。

5.根据权利要求1所述的加热器工作环境模拟测试装置，其特征在于：还包括一水冷系统，所述水冷系统包括用于输入冷却水的进水管路以及用于排出冷却水的出水管路；

所述槽体包括底板以及侧板，所述底板、所述顶板以及所述侧板均开设有冷却水通道，所述冷却水通道的两端分别与进水管路以及出水管路对接导通。

6.根据权利要求5所述的加热器工作环境模拟测试装置，其特征在于：所述进水管路连接冷水机的出水口，所述出水管路连接冷水机的进水口；

所述进水管路以及所述出水管路上均设有至少三个分支口，至少三个分支口分别用于对接所述底板、所述顶板以及所述侧板上的冷却水通道，所述分支口上安装有阀门以及流量传感器。

7.根据权利要求5所述的加热器工作环境模拟测试装置，其特征在于：所述顶板以及底板均包括上下设置的上板体以及下板体，所述上板体以及所述下板体通过螺栓可拆卸连接，且所述上板体以及所述下板体接触处设有密封件；

所述下板体上开设有螺旋状凹槽，所述上板体与所述下板体上下拼合时，所述螺旋状凹槽与所述上板体相连构成所述冷却水通道。

8.根据权利要求5所述的加热器工作环境模拟测试装置，其特征在于：所述侧板包括内外设置的内圆筒以及外圆筒，所述内圆筒与所述外圆筒之间焊接有用于分隔内圆筒与外圆筒之间区域构成冷却水通道的隔板；

所述侧板还包括上下设置的上法兰以及下法兰，所述上法兰与内圆筒以及外圆筒的顶部相连，所述下法兰与所述内圆筒以及外圆筒的底部相连。

9.根据权利要求5所述的加热器工作环境模拟测试装置，其特征在于：所述侧板与所述底板的接触处设有密封圈，所述侧板与所述顶板的接触处设有密封圈。

10.根据权利要求5所述的加热器工作环境模拟测试装置，其特征在于：所述顶板上开设有冷却水通道导通的进水口以及出水口，所述进水口与所述出水口相邻设置。