[实用新型]加热器工作环境模拟测试装置

说明书

本实用新型涉及机械技术领域。加热器工作环境模拟测试装置，包括测试腔，测试腔为用于摆放待测试加热器的空间，还包括真空系统，真空系统包括真空管路以及机械真空泵，机械真空泵的吸气口通过真空管路与测试腔对接导通；还包括气源输送系统，气源输送系统包括用于输入工艺气体的气源输入管路，气源输入管路与测试腔对接导通；还包括传感系统，传感系统包括用于检测测试腔内气压的气压传感器以及用于检测待测试加热器的制热面的温度的温度传感器，气压传感器安装在测试腔内，温度传感器的感应面与待测试加热器的制热面接触。通过本装置，便于实现不同工作环境的模拟，满足不同的工作需求的加热器的测试。

技术领域

本实用新型涉及机械技术领域，具体是测试装置。

背景技术

陶瓷加热器是一种高效热分部均匀的加热器。

加热器在出厂时会进行测试，但是测试内容往往是行业标准的测试内容，不会进行多样化的测试。

然后针对于加热器不同的使用环境，比如不同的总装设备上时，加热器所需的工作环境不同，目前缺乏一种适用于总装厂可以实现不同的工作环境模拟测试的加热器测试装置。

实用新型内容

针对现有技术存在的问题，本实用新型提供加热器工作环境模拟测试装置，以解决以上至少一个技术问题。

为了达到上述目的，本实用新型提供了加热器工作环境模拟测试装置，其特征在于，包括一测试腔，所述测试腔为用于摆放待测试加热器的空间，所述测试腔包括开口向上的槽体以及顶板，所述顶板覆盖所述槽体的上端开口；

还包括一真空系统，所述真空系统包括真空管路以及机械真空泵，所述机械真空泵的吸气口通过真空管路与所述测试腔对接导通；

还包括一气源输送系统，所述气源输送系统包括用于输入工艺气体的气源输入管路，所述气源输入管路与所述测试腔对接导通；

还包括一传感系统，所述传感系统包括用于检测测试腔内气压的气压传感器以及用于检测待测试加热器的制热面的温度的温度传感器，所述气压传感器安装在所述测试腔上，所述温度传感器的感应面与待测试加热器的制热面接触。

通过本装置，便于实现不同工作环境的模拟，可以实现工作环境的气压、工艺气体流量的调节需求，满足不同的工作需求的加热器的测试。通过温度传感器来测试加热器的合格情况。当温度传感器感应到待测试加热器的不同制热面的区域的温度差值处于规定范围内时，加热器为合格品。当不同制热面的区域的温度差值超出规定范围内时，加热器不合格。

进一步优选地，所述气源输入管路上安装有一进气控制阀，所述进气控制阀是MFC质量流量控制器。

通过MFC质量流量控制器便于实现气源流量的自动控制。

进一步优选地，还包括一加热适配器，所述加热适配器可拆卸的安装在所述测试腔的底部；

所述加热适配器与待测试加热器可拆卸连接；

所述待测试加热器通过所述加热适配器与电源相连。

通过加热适配器用于安装不同型号的加热器。

进一步优选地，所述待测试加热器是一化学气相沉积加热器，所述化学气相沉积加热器包括外壳以及位于外壳内的加热丝；

还包括一用于输送惰性气体的保护气体输送系统，所述保护气体输送系统包括一输气管路，所述输气管路与所述外壳的内腔导通；

所述输气管路上安装有DPC流量控制器。

便于防止加热丝的电离。

进一步优选的，还包括一水冷系统，所述水冷系统包括用于输入冷却水的进水管路以及用于排出冷却水的出水管路；