[实用新型]一种光电子元件制造的光刻装置

权利要求书

1.一种光电子元件制造的光刻装置，其特征在于：包括固定机构(1)、光刻机构(2)，所述固定机构(1)包括工作台(101)、固定座(102)、支撑座(103)，所述工作台(101)上方设置有所述固定座(102)，所述固定座(102)下端面前后对称各设置有一个所述支撑座(103)，所述固定座(102)一侧设置有固定架(104)，所述固定架(104)内侧安装有电动伸缩杆(105)，所述电动伸缩杆(105)远离所述固定架(104)一端安装有夹块(106)，所述固定架(104)远离所述固定座(102)一侧设置有侧板(107)，所述侧板(107)侧面安装有一号电机(108)。

2.根据权利要求1所述的一种光电子元件制造的光刻装置，其特征在于：所述光刻机构(2)包括防护板(201)、丝杠(202)、滑杠(203)，所述防护板(201)内侧设置有所述丝杠(202)，所述丝杠(202)后部设置有所述滑杠(203)，所述丝杠(202)一端安装有二号电机(204)，所述丝杠(202)上设置有滑块(205)，所述滑块(205)下端面安装有电动伸缩柱(206)，所述电动伸缩柱(206)下方安装有光刻机(207)。

3.根据权利要求1所述的一种光电子元件制造的光刻装置，其特征在于：所述光刻机构(2)包括防护板(201)、滑轨(208)、电动滑块(209)，所述防护板(201)内侧安装有所述滑轨(208)，所述滑轨(208)上安装有所述电动滑块(209)，所述电动滑块(209)下端面安装有电动伸缩柱(206)，所述电动伸缩柱(206)下方安装有光刻机(207)。

4.根据权利要求1所述的一种光电子元件制造的光刻装置，其特征在于：所述固定架(104)焊接在所述固定座(102)侧面，且两侧对称各设置有一个。

5.根据权利要求1所述的一种光电子元件制造的光刻装置，其特征在于：所述夹块(106)的材质为橡胶，通过螺栓安装在所述电动伸缩杆(105)上。

6.根据权利要求1所述的一种光电子元件制造的光刻装置，其特征在于：所述一号电机(108)与所述固定架(104)通过联轴器连接，所述固定架(104)转动安装在所述侧板(107)上。

7.根据权利要求2所述的一种光电子元件制造的光刻装置，其特征在于：所述二号电机(204)与所述丝杠(202)通过联轴器连接，所述电动伸缩柱(206)通过螺栓安装在所述滑块(205)下端面。