[实用新型]一种光电子元件制造的光刻装置有效
申请号: | 202021965706.9 | 申请日: | 2020-09-10 |
公开(公告)号: | CN212873187U | 公开(公告)日: | 2021-04-02 |
发明(设计)人: | 王浩鹏 | 申请(专利权)人: | 江苏紫石机械制造有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 226682 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 光电子 元件 制造 光刻 装置 | ||
1.一种光电子元件制造的光刻装置,其特征在于:包括固定机构(1)、光刻机构(2),所述固定机构(1)包括工作台(101)、固定座(102)、支撑座(103),所述工作台(101)上方设置有所述固定座(102),所述固定座(102)下端面前后对称各设置有一个所述支撑座(103),所述固定座(102)一侧设置有固定架(104),所述固定架(104)内侧安装有电动伸缩杆(105),所述电动伸缩杆(105)远离所述固定架(104)一端安装有夹块(106),所述固定架(104)远离所述固定座(102)一侧设置有侧板(107),所述侧板(107)侧面安装有一号电机(108)。
2.根据权利要求1所述的一种光电子元件制造的光刻装置,其特征在于:所述光刻机构(2)包括防护板(201)、丝杠(202)、滑杠(203),所述防护板(201)内侧设置有所述丝杠(202),所述丝杠(202)后部设置有所述滑杠(203),所述丝杠(202)一端安装有二号电机(204),所述丝杠(202)上设置有滑块(205),所述滑块(205)下端面安装有电动伸缩柱(206),所述电动伸缩柱(206)下方安装有光刻机(207)。
3.根据权利要求1所述的一种光电子元件制造的光刻装置,其特征在于:所述光刻机构(2)包括防护板(201)、滑轨(208)、电动滑块(209),所述防护板(201)内侧安装有所述滑轨(208),所述滑轨(208)上安装有所述电动滑块(209),所述电动滑块(209)下端面安装有电动伸缩柱(206),所述电动伸缩柱(206)下方安装有光刻机(207)。
4.根据权利要求1所述的一种光电子元件制造的光刻装置,其特征在于:所述固定架(104)焊接在所述固定座(102)侧面,且两侧对称各设置有一个。
5.根据权利要求1所述的一种光电子元件制造的光刻装置,其特征在于:所述夹块(106)的材质为橡胶,通过螺栓安装在所述电动伸缩杆(105)上。
6.根据权利要求1所述的一种光电子元件制造的光刻装置,其特征在于:所述一号电机(108)与所述固定架(104)通过联轴器连接,所述固定架(104)转动安装在所述侧板(107)上。
7.根据权利要求2所述的一种光电子元件制造的光刻装置,其特征在于:所述二号电机(204)与所述丝杠(202)通过联轴器连接,所述电动伸缩柱(206)通过螺栓安装在所述滑块(205)下端面。
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