[实用新型]一种光电子元件制造的光刻装置

说明书

本实用新型公开了一种光电子元件制造的光刻装置，包括固定机构、光刻机构，所述固定机构包括工作台、固定座、支撑座，所述工作台上方设置有所述固定座，所述固定座下端面前后对称各设置有一个所述支撑座，所述固定座一侧设置有固定架，所述固定架内侧安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆远离所述固定架一端安装有夹块，所述固定架远离所述固定座一侧设置有侧板，所述侧板侧面安装有一号电机。本实用新型结构简单，设计合理，生产成本低，不仅方便对工件进行固定，同时方便对工件两面进行光刻，节省人力，极大的提高了工作效率。

技术领域

本实用新型涉及光电子元件生产技术领域，特别是涉及一种光电子元件制造的光刻装置。

背景技术

光刻是通过一系列生产步骤，将晶圆表面薄膜的特定部分除去的工艺。光刻生产的目标是根据电路设计的要求，生成尺寸精确的特征图形，并且在晶圆表面的位置正确且与其它部件的关联正确。

光电子元件制造过程中，需要对其进行光刻，但是现有的生产装置只能对其一面进行光刻，然后需要对其翻面后再次进行加工，极大降低了工作效率，而且不方便对工件固定。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种光电子元件制造的光刻装置。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：

一种光电子元件制造的光刻装置，包括固定机构、光刻机构，所述固定机构包括工作台、固定座、支撑座，所述工作台上方设置有所述固定座，所述固定座下端面前后对称各设置有一个所述支撑座，所述固定座一侧设置有固定架，所述固定架内侧安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆远离所述固定架一端安装有夹块，所述固定架远离所述固定座一侧设置有侧板，所述侧板侧面安装有一号电机。

作为本实用新型进一步的方案，所述光刻机构包括防护板、丝杠、滑杠，所述防护板内侧设置有所述丝杠，所述丝杠后部设置有所述滑杠，所述丝杠一端安装有二号电机，所述丝杠上设置有滑块，所述滑块下端面安装有电动伸缩柱，所述电动伸缩柱下方安装有光刻机。

作为本实用新型进一步的方案，所述光刻机构包括防护板、滑轨、电动滑块，所述防护板内侧安装有所述滑轨，所述滑轨上安装有所述电动滑块，所述电动滑块下端面安装有电动伸缩柱，所述电动伸缩柱下方安装有光刻机。

作为本实用新型进一步的方案，所述固定架焊接在所述固定座侧面，且两侧对称各设置有一个。

作为本实用新型进一步的方案，所述夹块的材质为橡胶，通过螺栓安装在所述电动伸缩杆上。

作为本实用新型进一步的方案，所述一号电机与所述固定架通过联轴器连接，所述固定架转动安装在所述侧板上。

作为本实用新型进一步的方案，所述二号电机与所述丝杠通过联轴器连接，所述电动伸缩柱通过螺栓安装在所述滑块下端面。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

通过设置固定机构，不仅方便对工件进行固定，同时方便对工件两面进行光刻，节省人力，极大的提高了工作效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型所述一种光电子元件制造的光刻装置的实施例1立体图；

图2是本实用新型所述一种光电子元件制造的光刻装置的实施例1主视图；

图3是本实用新型所述一种光电子元件制造的光刻装置的实施例1俯视图；