[实用新型]玻璃面板小批量样品用湿刻机有效
申请号: | 202021966058.9 | 申请日: | 2020-09-10 |
公开(公告)号: | CN212983056U | 公开(公告)日: | 2021-04-16 |
发明(设计)人: | 吴奥明;姜爱华 | 申请(专利权)人: | 深圳亿博尔电子科技有限公司 |
主分类号: | C23F1/08 | 分类号: | C23F1/08 |
代理公司: | 深圳茂达智联知识产权代理事务所(普通合伙) 44394 | 代理人: | 夏龙 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙华*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 玻璃 面板 批量 样品 用湿刻机 | ||
1.一种玻璃面板小批量样品用湿刻机,用于对玻璃面板的湿刻工艺,其特征在于,包括
湿刻单元,设有用于放置刻蚀液的湿刻槽;
水洗单元,设于所述湿刻单元末端,用于将从所述湿刻槽出来的玻璃面板进行水洗;
干燥单元,设于所述水洗单元的末端,用于将完成所述水洗的玻璃面板进行干燥;
驱动单元,安装于所述湿刻单元、水洗单元、干燥单元的上方,所述驱动单元包括水平驱动组件和垂直升降组件,所述水平驱动单元用于将玻璃面板从所述湿刻单元、水洗单元、干燥单元之间的水平传送,所述垂直升降组件用于玻璃面板在所述湿刻单元或水洗单元、或干燥单元上方的垂直升降。
2.如权利要求1所述的玻璃面板小批量样品用湿刻机,其特征在于,所述湿刻槽内设有用于加速刻蚀液循环流动的增压管路。
3.如权利要求2所述的玻璃面板小批量样品用湿刻机,其特征在于,所述水洗单元包括第一水洗槽和第二水洗槽,所述第一水洗槽设于所述湿刻槽得末端,所述第二水洗槽设于所述第一水洗槽的末端。
4.如权利要求1所述的玻璃面板小批量样品用湿刻机,其特征在于,还包括框体,所述湿刻单元、水洗单元、干燥单元设置于框体下部,所述驱动单元设于所述框体的顶部。
5.如权利要求4所述的玻璃面板小批量样品用湿刻机,其特征在于,还包括透明外罩,所述透明外罩安装于所述框体。
6.如权利要求5所述的玻璃面板小批量样品用湿刻机,其特征在于,所述框体的顶部设有抽出挥发性气体的保持环境稳定的抽风口。
7.如权利要求1-6任一项所述的玻璃面板小批量样品用湿刻机,其特征在于,所述驱动单元包括安装板,所述水平驱动组件包括固定于所述安装板的水平驱动电机、带有齿条的导轨、以及安装于所述水平驱动电机的输出轴上的齿轮,所述水平驱动电机带动安装板在导轨上水平移动;
所述垂直升降组件包括固定于所述安装板的垂直驱动电机、安装于所述垂直驱动电机的输出轴的旋转杆、以及垂直丝杆,所述垂直丝杆的顶部与所述旋转杆尾部啮合连接,装载玻璃面板的载具安装于垂直丝杆。
8.如权利要求7所述的玻璃面板小批量样品用湿刻机,其特征在于,还包括固定于所述安装板的端部的升降导轨,玻璃载具沿所述升降导轨随垂直丝杆转动而升降。
9.如权利要求7所述的玻璃面板小批量样品用湿刻机,其特征在于,所述驱动单元的控制模式还包括自动模式和手动模式。
10.如权利要求4所述的玻璃面板小批量样品用湿刻机,其特征在于,所述框体的底部对应于所述湿刻单元、水洗单元、干燥单元处设有加强板。
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