[实用新型]玻璃面板小批量样品用湿刻机有效

专利信息
申请号: 202021966058.9 申请日: 2020-09-10
公开(公告)号: CN212983056U 公开(公告)日: 2021-04-16
发明(设计)人: 吴奥明;姜爱华 申请(专利权)人: 深圳亿博尔电子科技有限公司
主分类号: C23F1/08 分类号: C23F1/08
代理公司: 深圳茂达智联知识产权代理事务所(普通合伙) 44394 代理人: 夏龙
地址: 518000 广东省深圳市龙华*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 玻璃 面板 批量 样品 用湿刻机
【权利要求书】:

1.一种玻璃面板小批量样品用湿刻机,用于对玻璃面板的湿刻工艺,其特征在于,包括

湿刻单元,设有用于放置刻蚀液的湿刻槽;

水洗单元,设于所述湿刻单元末端,用于将从所述湿刻槽出来的玻璃面板进行水洗;

干燥单元,设于所述水洗单元的末端,用于将完成所述水洗的玻璃面板进行干燥;

驱动单元,安装于所述湿刻单元、水洗单元、干燥单元的上方,所述驱动单元包括水平驱动组件和垂直升降组件,所述水平驱动单元用于将玻璃面板从所述湿刻单元、水洗单元、干燥单元之间的水平传送,所述垂直升降组件用于玻璃面板在所述湿刻单元或水洗单元、或干燥单元上方的垂直升降。

2.如权利要求1所述的玻璃面板小批量样品用湿刻机,其特征在于,所述湿刻槽内设有用于加速刻蚀液循环流动的增压管路。

3.如权利要求2所述的玻璃面板小批量样品用湿刻机,其特征在于,所述水洗单元包括第一水洗槽和第二水洗槽,所述第一水洗槽设于所述湿刻槽得末端,所述第二水洗槽设于所述第一水洗槽的末端。

4.如权利要求1所述的玻璃面板小批量样品用湿刻机,其特征在于,还包括框体,所述湿刻单元、水洗单元、干燥单元设置于框体下部,所述驱动单元设于所述框体的顶部。

5.如权利要求4所述的玻璃面板小批量样品用湿刻机,其特征在于,还包括透明外罩,所述透明外罩安装于所述框体。

6.如权利要求5所述的玻璃面板小批量样品用湿刻机,其特征在于,所述框体的顶部设有抽出挥发性气体的保持环境稳定的抽风口。

7.如权利要求1-6任一项所述的玻璃面板小批量样品用湿刻机,其特征在于,所述驱动单元包括安装板,所述水平驱动组件包括固定于所述安装板的水平驱动电机、带有齿条的导轨、以及安装于所述水平驱动电机的输出轴上的齿轮,所述水平驱动电机带动安装板在导轨上水平移动;

所述垂直升降组件包括固定于所述安装板的垂直驱动电机、安装于所述垂直驱动电机的输出轴的旋转杆、以及垂直丝杆,所述垂直丝杆的顶部与所述旋转杆尾部啮合连接,装载玻璃面板的载具安装于垂直丝杆。

8.如权利要求7所述的玻璃面板小批量样品用湿刻机,其特征在于,还包括固定于所述安装板的端部的升降导轨,玻璃载具沿所述升降导轨随垂直丝杆转动而升降。

9.如权利要求7所述的玻璃面板小批量样品用湿刻机,其特征在于,所述驱动单元的控制模式还包括自动模式和手动模式。

10.如权利要求4所述的玻璃面板小批量样品用湿刻机,其特征在于,所述框体的底部对应于所述湿刻单元、水洗单元、干燥单元处设有加强板。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳亿博尔电子科技有限公司,未经深圳亿博尔电子科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202021966058.9/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top