[实用新型]玻璃面板小批量样品用湿刻机有效
申请号: | 202021966058.9 | 申请日: | 2020-09-10 |
公开(公告)号: | CN212983056U | 公开(公告)日: | 2021-04-16 |
发明(设计)人: | 吴奥明;姜爱华 | 申请(专利权)人: | 深圳亿博尔电子科技有限公司 |
主分类号: | C23F1/08 | 分类号: | C23F1/08 |
代理公司: | 深圳茂达智联知识产权代理事务所(普通合伙) 44394 | 代理人: | 夏龙 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙华*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 玻璃 面板 批量 样品 用湿刻机 | ||
本实用新型公开的一种玻璃面板小批量样品用湿刻机,用于对玻璃面板的湿刻工艺。玻璃面板小批量样品用湿刻机包括湿刻单元、水洗单元、干燥单元、驱动单元。湿刻单元设有用于放置刻蚀液的湿刻槽。水洗单元设于湿刻单元末端,用于将从湿刻槽出来的玻璃面板进行水洗。干燥单元设于水洗单元的末端。驱动单元安装于湿刻、水洗、干燥单元的上方,驱动单元包括水平驱动组件和垂直升降组件,水平驱动单元用于将玻璃面板从湿刻单元、水洗单元、干燥单元之间得水平传送,垂直升降组件用于玻璃面板在湿刻单元或水洗单元、或干燥单元上方的垂直升降。本技术方案可以对铜湿刻工艺导入前的各项药液研究需求及制程调试需求,极大的缩短客户铜刻蚀工艺的导入时间。
技术领域
本实用新型涉及平板显示技术领域,尤其涉及湿刻工艺用的玻璃面板小批量样品用湿刻机。
背景技术
国内平板显示行业虽然已经发展近20年,然而90%及其以上的工厂目前仍旧使用纯铝工艺或者钼铝钼工艺,无法满足消费者对于视觉享受的高追求。随着4K、8K显示逐步走进大众生活,越来越多的工厂选择使用铜工艺。
相较于纯铝工艺刻蚀液(盐酸、醋酸和磷酸的溶液),铜刻蚀液(双氧水)对设备的要求更高,原本适用于纯铝工艺的湿刻机无法满足新的刻蚀液和工艺的要求。
对量产工厂来讲,在样品阶段对现行设备盲目的改造生产样品一则耗费巨大,不符合工厂降成本的要求。二则本身对铜湿刻工艺知之甚少,而国内同行急需获得铜湿刻工艺在不同铜蚀刻液和刻蚀条件下的工艺呈现和产品表现,突破三星、LG等行业领先者的技术封锁。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种可以在量产前小规模调试满足铜工艺制程需求的玻璃面板小批量样品用湿刻机。
本实用新型公开一种玻璃面板小批量样品用湿刻机,用于对玻璃面板的湿刻工艺,其特征在于,包括湿刻单元,设有用于放置刻蚀液的湿刻槽;水洗单元,设于所述湿刻单元末端,用于将从所述湿刻槽出来的玻璃面板进行水洗;干燥单元,设于所述水洗单元的末端,用于将完成所述水洗的玻璃面板进行干燥;驱动单元,安装于所述湿刻单元、水洗单元、干燥单元的上方,所述驱动单元包括水平驱动组件和垂直升降组件,所述水平驱动单元用于将玻璃面板从所述湿刻单元、水洗单元、干燥单元之间得水平传送,所述垂直升降组件用于玻璃面板在所述湿刻单元或水洗单元、或干燥单元上方的垂直升降。
进一步,所述湿刻槽内设有用于加速刻蚀液循环流动的增压管路。
进一步,所述水洗单元包括第一水洗槽和第二水洗槽,所述第一水洗槽设于所述湿刻槽得末端,所述第二水洗槽设于所述第一水洗槽的末端。
进一步,还包括框体,所述湿刻单元、水洗单元、干燥单元设置于框体下部,所述驱动单元设于所述框体的顶部。
进一步,还包括透明外罩,所述透明外罩安装于所述框体。
进一步,所述框体的顶部设有抽出挥发性气体的保持环境稳定的抽风口。
进一步,所述驱动单元包括安装板,所述水平驱动组件包括固定于所述安装板的水平驱动电机、带有齿条的导轨、以及安装于所述水平驱动电机的输出轴上的齿轮,所述水平驱动电机带动安装板在导轨上水平移动;
进一步,所述垂直升降组件包括固定于所述安装板的垂直驱动电机、安装于所述垂直驱动电机的输出轴的旋转杆、以及垂直丝杆,所述垂直丝杆的顶部与所述旋转杆尾部啮合连接,装载玻璃面板的载具安装于垂直丝杆。
进一步,还包括固定于所述安装板的端部的升降导轨,玻璃载具沿所述升降导轨随垂直丝杆转动而升降。
进一步,驱动单元的控制模式还包括自动模式和手动模式。
进一步,所述框体的底部对应于湿刻单元、水洗单元、干燥单元处设有加强板。
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