[实用新型]一种贴合设备

权利要求书

1.一种贴合设备，其特征在于，包括：

底座；

硅片夹持装置，设置于所述底座上，所述硅片夹持装置用于夹持硅片，并且可控制所述硅片运动；

玻片夹持装置，设置于所述底座上，所述玻片夹持装置用于夹持载玻片，并且可控制所述载玻片运动；

图像采集装置，设置于所述底座上，所述图像采集装置用于采集所述硅片夹持装置夹持的硅片的第一图像，以及，所述玻片夹持装置所夹持的载玻片的第二图像；

控制装置，所述控制装置分别连接所述硅片夹持装置、玻片夹持装置和图像采集装置。

2.根据权利要求1所述的贴合设备，其特征在于，

所述硅片夹持装置包括第一滑动机构、第二滑动机构和第一夹持机构，所述第一滑动机构设置于所述底座上，所述第二滑动机构设置于所述第一滑动机构上，所述第一夹持机构设置于所述第二滑动机构上，所述第一滑动机构和第二滑动机构均与所述控制装置连接；

其中，所述第一滑动机构可控制所述第二滑动机构沿X轴方向运动，所述第二滑动机构可控制所述第一夹持机构沿Y轴运动。

3.根据权利要求2所述的贴合设备，其特征在于，

所述硅片夹持装置还包括升降机构，所述第一夹持机构设置于所述升降机构，所述升降机构设置于所述第二滑动机构上,所述升降机构用于抬升或者降低所述第一夹持机构；

其中，所述升降机构与所述控制装置连接。

4.根据权利要求3所述的贴合设备，其特征在于，

所述第一夹持机构包括硅片台、真空腔块和第一抽气模块，所述硅片台固定于所述真空腔块上，所述真空腔块固定于所述升降机构上，所述真空腔块设置有真空管道，所述硅片台设置有第一通气孔，所述真空管道的一端与所述第一通气孔连接，所述真空管道的另一端与所述第一抽气模块连接，所述第一抽气模块与所述控制装置连接。

5.根据权利要求4所述的贴合设备，其特征在于，所述硅片夹持装置还包括隔热块和发热片；

所述隔热块固定于所述升降机构上，所述真空腔块固定于所述隔热块上，所述发热片固定于所述真空腔块，所述发热片与所述控制装置连接。

6.根据权利要求1-5中任意一项所述的贴合设备，其特征在于，

所述玻片夹持装置包括三轴滑动机构、夹指机构和第二夹持机构，所述三轴滑动机构设置于所述底座上，所述夹指机构设置于所述三轴滑动机构上，所述第二夹持机构设置于夹指机构，所述三轴滑动机构用于控制所述载玻片在X轴、Y轴和Z轴上运动，所述夹指机构用于夹紧载玻片，所述第二夹持机构用于固定所述载玻片；

所述三轴滑动机构、翻滚机构和第二夹持机构均与控制器连接。

7.根据权利要求6所述的贴合设备，其特征在于，

所述第二夹持机构还包括玻片台和第二抽气模块，所述玻片台设置有第二通气孔；

所述玻片台固定于所述三轴滑动机构，所述第二抽气模块与所述第二通气孔连接，所述第二抽气模块用于抽取所述第二通气孔的气体，以使所述载玻片吸附于所述玻片台上；

所述第二抽气模块与所述控制装置连接。

8.根据权利要求7所述的贴合设备，其特征在于，所述夹指机构还包括夹板、第一气缸和第二气缸，所述第一气缸和所述第二气缸相对设置于所述玻片台的一表面，所述夹板设置于所述玻片台的另一表面，所述第一气缸和所述第二气缸与均与所述夹板连接；

所述第一气缸和所述第二气缸与所述控制器连接。

9.根据权利要求1-5中任意一项所述的贴合设备，其特征在于，

所述图像采集装置包括摄像机构和高度调节机构，所述摄像机构固定于所述高度调节机构，所述高度调节机构用于摄像机构的高度；

其中，所述摄像机构与所述控制装置连接。

10.根据权利要求1-5中任意一项所述的贴合设备，其特征在于，

所述底座包括底板、承载板和弹性形变件，所述底板和承载板层叠设置，所述弹性形变件固定于所述底板和承载板之间。