[实用新型]一种原位拉曼光谱检测的蒸发镀膜设备

权利要求书

1.一种原位拉曼光谱检测的蒸发镀膜设备，其特征在于：包括端盖(1)、热蒸发腔体(2)、膜厚检测机构(3)、热蒸发机构(5)以及真空机构(4)，所述端盖(1)连接在镀膜室上，所述端盖(1)上设有拉曼检测口(6)、光电组件以及观察窗(8)，所述拉曼检测口(6)上安装有拉曼光谱检测仪，所述光电组件用于控制光电射线的开闭，所述热蒸发腔体(2)位于端盖(1)上，所述膜厚检测机构(3)、热蒸发机构(5)以及真空机构(4)均与热蒸发腔体(2)相通，所述膜厚检测机构(3)用于检测基片镀膜的厚度，所述真空机构(4)用于将热蒸发腔体(2)内进行真空，所述热蒸发机构(5)位于热蒸发腔体(2)顶部，所述热蒸发机构(5)包括动力磁力转轴(51)、挡片(52)、母水冷电极(53)、多组子水冷电极(54)以及多个蒸发舟(55)，所述蒸发舟(55)分别连接在所述母水冷电极(53)与各组所述子水冷电极(54)之间，所述动力磁力转轴(51)的一端延伸至热蒸发腔体(2)内与挡片(52)连接，所述挡片(52)的上表面与蒸发舟(55)下表面在同一水平面上，所述动力磁力转轴(51)驱动所述挡片(52)在水平面上转动以使所述挡片(52)遮挡任一一个蒸发舟(55)。

2.根据权利要求1所述一种原位拉曼光谱检测的蒸发镀膜设备，其特征在于：所述热蒸发机构(5)还包括支架(56)、支撑板(57)、平移动力源(58)以及导向轴支座(59)，所述热蒸发腔体(2)上顶部设有开口，所述支撑板(57)设置在开口上且用于封闭开口，所述动力磁力转轴(51)、母水冷电极(53)以及多组子水冷电极(54)均固定连接在支撑板(57)上，且均穿过支撑板(57)，所述支架(56)位于膜厚检测机构(3)以及真空机构(4)上，所述平移动力源(58)位于支架(56)上，所述平移动力源(58)的输出端通过导向轴支座(59)连接在支撑板(57)中心处，所述平移动力源(58)驱动所述支撑板(57)在竖直方向上运动，以使所述热蒸发腔体(2)内部的动力磁力转轴(51)、母水冷电极(53)以及多组子水冷电极(54)靠近或远离镀膜室内的基片。

3.根据权利要求1所述一种原位拉曼光谱检测的蒸发镀膜设备，其特征在于：所述真空机构(4)包括法兰焊接管(41)、第二插板阀(42)、四通管(43)以及分子泵(44)，所述法兰焊接管(41)水平连接在热蒸发腔体(2)一侧壁上，所述第二插板阀(42)连接在法兰焊接管(41)与四通管(43)之间，所述分子泵(44)连接在四通管(43)上，所述四通管(43)的一端口上还设有冷阱连接部(45)以及位于冷阱连接部(45)上的液氮输液管(46)和氮气排出管(47)。

4.根据权利要求1所述一种原位拉曼光谱检测的蒸发镀膜设备，其特征在于：所述膜厚检测机构(3)包括连接管(31)、电阻规接头(32)、电离规接头(33)以及膜厚仪(34)，所述连接管(31)的一端连接在热蒸发腔体(2)一侧壁上，所述膜厚仪(34)连接在连接管(31)的另一端，所述电阻规接头(32)和电离规接头(33)连接在连接管(31)的相对外面上，且电阻规接头(32)和电离规接头(33)均与连接管(31)相通。

5.根据权利要求1所述一种原位拉曼光谱检测的蒸发镀膜设备，其特征在于：所述热蒸发腔体(2)与端盖(1)之间设有中心支架(9)以及第一插板阀(10)，所述第一插板阀(10)位于中心支架(9)上方，所述热蒸发腔体(2)与所述中心支架(9)相通且形成一个镀膜通道，所述第一插板阀(10)用于打开或闭合镀膜通道。