[实用新型]一种原位拉曼光谱检测的蒸发镀膜设备

说明书

一种原位拉曼光谱检测的蒸发镀膜设备，包括端盖、热蒸发腔体、膜厚检测机构、热蒸发机构以及真空机构，端盖连接在镀膜室上，端盖上设有拉曼检测口、光电组件以及观察窗，热蒸发腔体位于端盖上，膜厚检测机构、膜厚检测机构用于检测基片镀膜的厚度，真空机构用于将热蒸发腔体内进行真空，热蒸发机构包括动力磁力转轴、挡片、母水冷电极、多组子水冷电极以及多个蒸发舟，蒸发舟分别连接在母水冷电极与各组子水冷电极之间，动力磁力转轴的一端延伸至热蒸发腔体内与挡片连接，动力磁力转轴驱动挡片在水平面上转动以使挡片遮挡任一一个蒸发舟；本实用新型优点在于能够分别在同腔体内对多种不同膜料的热蒸发以及能将镀膜后的基片进行拉曼光谱检测。

技术领域

本实用新型涉及镀膜设备的技术领域，尤其是一种原位拉曼光谱检测的蒸发镀膜设备。

背景技术

镀膜的应用比较广泛，一般常见的有汽车镀膜以及光学镜片镀膜，而本实用新型中针对的是光学镜片的镀膜，现代光学透镜通常都镀有单层或多层氟化镁的增透膜，本实用新型中的端盖下方是连接有镀膜室的，两者是可拆卸的，目前已有的镀膜方式为用喷枪将需要镀的膜料气化喷出以喷洒在被镀基片上，这种镀膜方式不严谨，没有在真空的环境下实现膜料的气化容易使金属膜料气化后被氧化，也会受到空气的影响而使得镀膜不均匀，无法实现快速的膜料切换；而且现有的镀膜方式均是先将基片镀完之后人工取出放入检测机构内进行原位拉曼光谱检测，因此本实用新型需要的解决的问题是如何在真空环境下对基片的膜料进行切换，且将原位拉曼光谱检测同时应用在镀膜设备中，先镀膜后检测无需再将膜片取出检测。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种能够分别在同腔体内对多种不同膜料的热蒸发以及能将镀膜后的基片进行拉曼光谱检测的设备。

本实用新型解决其技术问题是采取以下技术方案实现的：

该种原位拉曼光谱检测的蒸发镀膜设备，包括端盖、热蒸发腔体、膜厚检测机构、热蒸发机构以及真空机构，所述端盖连接在镀膜室上，所述端盖上设有拉曼检测口、光电组件以及观察窗，所述拉曼检测口上安装有拉曼光谱检测仪，所述光电组件用于控制光电射线的开闭，所述热蒸发腔体位于端盖上，所述膜厚检测机构、热蒸发机构以及真空机构均与热蒸发腔体相通，所述膜厚检测机构用于检测基片镀膜的厚度，所述真空机构用于将热蒸发腔体内进行真空，所述热蒸发机构位于热蒸发腔体顶部，所述热蒸发机构包括动力磁力转轴、挡片、母水冷电极、多组子水冷电极以及多个蒸发舟，所述蒸发舟分别连接在所述母水冷电极与各组所述子水冷电极之间，所述动力磁力转轴的一端延伸至热蒸发腔体内与挡片连接，所述挡片的上表面与蒸发舟下表面在同一水平面上，所述动力磁力转轴驱动所述挡片在水平面上转动以使所述挡片遮挡任一一个蒸发舟。

优选的，所述热蒸发机构还包括支架、支撑板、平移动力源以及导向轴支座，所述热蒸发腔体上顶部设有开口，所述支撑板设置在开口上且用于封闭开口，所述动力磁力转轴、母水冷电极以及多组子水冷电极均固定连接在支撑板上，且均穿过支撑板，所述支架位于膜厚检测机构以及真空机构上，所述平移动力源位于支架上，所述平移动力源的输出端通过导向轴支座连接在支撑板中心处，所述平移动力源驱动所述支撑板在竖直方向上运动，以使所述热蒸发腔体内部的动力磁力转轴、母水冷电极以及多组子水冷电极靠近或远离镀膜室内的基片。

优选的，所述真空机构包括法兰焊接管、第二插板阀、四通管以及分子泵，所述法兰焊接管水平连接在热蒸发腔体一侧壁上，所述第二插板阀连接在法兰焊接管与四通管之间，所述分子泵连接在四通管上，所述四通管的一端口上还设有冷阱连接部以及位于冷阱连接部上的液氮输液管和氮气排出管。

优选的，所述膜厚检测机构包括连接管、电阻规接头、电离规接头以及膜厚仪，所述连接管的一端连接在热蒸发腔体一侧壁上，所述膜厚仪连接在连接管的另一端，所述电阻规接头和电离规接头连接在连接管的相对外面上，且电阻规接头和电离规接头均与连接管相通。