[实用新型]用于离线校准尼康SF120光刻机激光器光轴的装置有效
| 申请号： | 202021976039.4 | 申请日： | 2020-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN213749014U | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 潘大伟 | 申请（专利权）人： | 上海矽锐电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/04 | 分类号： | G01M11/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201315 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 离线 校准 尼康 sf120 光刻 激光器 光轴 装置 | ||
【权利要求书】：
1.用于离线校准尼康SF120光刻机激光器光轴的装置，其特征在于，包括前定位块(1)、侧边定位块(2)、承载平面台(3)、连接面(4)、近点小孔标记(5)和远点小孔标记(6)，前定位块(1)的侧边设置有两个侧边定位块(2)，前定位块(1)与两个侧边定位块(2)的表面均设置有独立的承载平面台(3)，前定位块(1)、侧边定位块(2)的底部设有连接面(4)，前定位块(1)与前部的侧边定位块(2)的中部前方由近至远依次放置有近点小孔标记(5)、远点小孔标记(6)；所述的前定位块(1)与前部的侧边定位块(2)之间的距离a为20mm，两个侧边定位块(2)之间的距离b为100mm，前部的侧边定位块(2)与近点小孔标记(5)之间的距离c为300mm，近点小孔标记(5)与远点小孔标记(6)之间的距离d不小于4000mm。
2.根据权利要求1所述的用于离线校准尼康SF120光刻机激光器光轴的装置，其特征在于，所述的前定位块(1)、侧边定位块(2)表面的承载平面台(3)位于同一水平面。
3.根据权利要求1所述的用于离线校准尼康SF120光刻机激光器光轴的装置，其特征在于，所述的连接面(4)采用硅胶海绵作为中间连接件。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海矽锐电子科技有限公司，未经上海矽锐电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202021976039.4/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种内科用甲状腺辅助穿刺装置
- 下一篇：一种W型固定床淋洗装置
