[实用新型]用于离线校准尼康SF120光刻机激光器光轴的装置

说明书

本实用新型公开了用于离线校准尼康SF120光刻机激光器光轴的装置，它涉及激光器校准技术领域。前定位块的侧边设置有两个侧边定位块，前定位块与两个侧边定位块的表面均设置有独立的承载平面台，前定位块与前部的侧边定位块的中部前方由近至远依次放置有近点小孔标记、远点小孔标记；所述的前定位块与前部的侧边定位块之间的距离为20mm，两个侧边定位块之间的距离为100mm，前部的侧边定位块与近点小孔标记之间的距离为300mm，近点小孔标记与远点小孔标记之间的距离不小于4000mm。本实用新型将光刻机内部复杂的光路简化为一条直线，可直观地观察光线的变化，校准操作简便且耗时短，不占用生产设备的时间。

技术领域

本实用新型涉及的是激光器校准技术领域，具体涉及用于离线校准尼康SF120光刻机激光器光轴的装置。

背景技术

目前，现在行业内校准光刻机激光器，一般都是需要将激光器安装到光刻机上进行在线的校准调试，由于光刻机内部的光路众多，无法很直观地观察光线的变化，校准起来繁琐且耗时较长，会占用生产设备的很多时间。

为了解决上述问题，设计一种新型的用于离线校准尼康SF120光刻机激光器光轴的装置尤为必要。

实用新型内容

针对现有技术上存在的不足，本实用新型目的是在于提供用于离线校准尼康SF120光刻机激光器光轴的装置，将光刻机内部复杂的光路简化为一条直线，校准操作简便且耗时短，可直观地观察光线的变化，且不占用生产设备的时间，易于推广使用。

为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：用于离线校准尼康SF120光刻机激光器光轴的装置，包括前定位块、侧边定位块、承载平面台、连接面、近点小孔标记和远点小孔标记，前定位块的侧边设置有两个侧边定位块，前定位块与两个侧边定位块的表面均设置有独立的承载平面台，前定位块、侧边定位块的底部设有连接面，前定位块与前部的侧边定位块的中部前方由近至远依次放置有近点小孔标记、远点小孔标记；所述的前定位块与前部的侧边定位块之间的距离a为20mm，两个侧边定位块之间的距离b为100mm，前部的侧边定位块与近点小孔标记之间的距离c为300mm，近点小孔标记与远点小孔标记之间的距离d不小于4000mm。

作为优选，所述的前定位块、侧边定位块表面的承载平面台位于同一水平面，提高激光器校准精度。

作为优选，所述的连接面采用硅胶海绵作为中间连接件，消除环境震动、温度变化带来的影响。

本实用新型的有益效果：本装置根据尼康SF120光刻机的激光器承载台和激光器结构，采用三个主支撑块组合而成的激光器光轴离线校准装置，将光刻机内部复杂的光路简化为一条直线，可直观地观察光线的变化，校准操作简便，耗时短，且完全不占用生产设备的时间，应用前景广阔。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式来详细说明本实用新型；

图1为本实用新型的立体结构示意图；

图2为本实用新型前定位块的结构示意图；

图3为本实用新型侧边定位块的结构示意图；

图4本实用新型的平面结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。