[实用新型]工件盘镀膜装置

权利要求书

1.一种工件盘镀膜装置，其特征在于，包括：

真空室(1)，所述真空室(1)的底部安装有蒸发源(5)和/或溅射源(4)；

公转传动件，所述公转传动件设置于所述真空室(1)内，并与设置于所述真空室(1)外的公转电机(6)传动连接；

自转电机(11)，所述自转电机(11)设置于所述真空室(1)内，并通过密封件与所述真空室(1)的其余空间相隔离，所述自转电机(11)与所述公转传动件相连接，并随所述公转传动件绕所述公转电机(6)的轴线公转；所述自转电机(11)的电机线(8)依次经所述公转传动件内部、所述公转电机(6)的空心轴内部由导电滑环(7)导出至所述真空室(1)外；

基片(3)，所述基片(3)设置于所述公转传动件外，并通过自转磁流体密封轴(10)与所述自转电机(11)的输出轴传动连接。

2.根据权利要求1所述的工件盘镀膜装置，其特征在于，所述公转传动件包括：

公转箱体(2)，所述自转电机(11)安装于所述公转箱体(2)内，所述基片(3)安装于所述公转箱体(2)外，所述自转磁流体密封轴(10)穿过所述公转箱体(2)的底壁，并将所述自转电机(11)的输出轴与所述基片(3)传动连接；

所述公转箱体(2)形成所述密封件，所述自转电机(11)的电机线(8)经所述公转箱体(2)内部进入所述公转电机(6)的空心轴内部。

3.根据权利要求1所述的工件盘镀膜装置，其特征在于，所述公转传动件包括：

公转盘(14)，所述公转盘(14)与所述公转电机(6)传动连接，所述自转电机(11)安装于所述公转盘(14)上。

4.根据权利要求3所述的工件盘镀膜装置，其特征在于，所述密封件包括：

电机罩(12)，所述电机罩(12)罩设于所述自转电机(11)和所述自转磁流体密封轴(10)外，所述电机罩(12)通过波纹管(13)与所述公转电机(6)的空心轴相连接，所述自转电机(11)的电机线(8)经所述波纹管(13)的内部进入所述公转电机(6)的空心轴内部。

5.根据权利要求1-4任一项所述的工件盘镀膜装置，其特征在于，所述自转电机(11)设置有多组，各所述自转电机(11)分别通过所述自转磁流体密封轴(10)与所述基片(3)一一对应地相连接。

6.根据权利要求1-4任一项所述的工件盘镀膜装置，其特征在于，所述公转传动件与所述公转电机(6)的空心转子相连接，所述公转电机(6)的定子通过公转磁流体密封轴(9)与所述真空室(1)相连接。

7.根据权利要求1-4任一项所述的工件盘镀膜装置，其特征在于，还包括：

卡盘，所述基片(3)通过所述卡盘可拆卸地安装于所述自转磁流体密封轴(10)。