[实用新型]工件盘镀膜装置

说明书

本实用新型公开了一种工件盘镀膜装置，包括：真空室，所述真空室的底部安装有蒸发源和/或溅射源；公转传动件，设置于所述真空室内，并与设置于所述真空室外的公转电机传动连接；自转电机，设置于所述真空室内，并通过密封件与所述真空室的其余空间相隔离，所述自转电机与所述公转传动件相连接，并随所述公转传动件绕所述公转电机的轴线公转；所述自转电机的电机线依次经所述公转传动件内部、所述公转电机的空心轴内部由导电滑环导出至所述真空室外。自转电机和公转传动件均通过空心轴的气连通结构与外界大气相连，使得自转电机可以采用非真空电机的形式，使用普通电机即可，从而降低了设备成本，延长了电机的使用寿命，保证了镀膜质量。

技术领域

本实用新型涉及光学薄膜制备技术领域，尤其涉及一种工件盘镀膜装置。

背景技术

在光学薄膜制备过程中，可采用溅射法进行制备，为了保证镀膜均匀，多采用能够自转和公转的工件盘镀膜装置。在现有方案中，由于带动基片转动的自转电机需要处于真空腔内，因此自转电机使用的是真空电机。但是，真空电机的价格比普通电机贵很多，导致设备成本较高；并且，真空环境中没有空气对流，电机散热很难解决，长时间使用容易损坏，影响电机使用寿命；同时，真空电机中要使用大量润滑脂，镀膜环境中需要加热，温度高了润滑脂会污染真空环境，影响镀膜质量。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种工件盘镀膜装置，以至少部分解决现有技术中存在的问题。

为解决上述问题，本实用新型提供一种工件盘镀膜装置，包括：

真空室，所述真空室的底部安装有蒸发源和/或溅射源；

公转传动件，所述公转传动件设置于所述真空室内，并与设置于所述真空室外的公转电机传动连接；

自转电机，所述自转电机设置于所述真空室内，并通过密封件与所述真空室的其余空间相隔离，所述自转电机与所述公转传动件相连接，并随所述公转传动件绕所述公转电机的轴线公转；所述自转电机的电机线依次经所述公转传动件内部、所述公转电机的空心轴内部由导电滑环导出至所述真空室外；

基片，所述基片设置于所述公转传动件外，并通过自转磁流体密封轴与所述自转电机的输出轴传动连接。

进一步地，所述公转传动件包括：

公转箱体，所述自转电机安装于所述公转箱体内，所述基片安装于所述公转箱体外，所述自转磁流体密封轴穿过所述公转箱体的底壁，并将所述自转电机的输出轴与所述基片传动连接；

所述公转箱体形成所述密封件，所述自转电机的电机线经所述公转箱体内部进入所述公转电机的空心轴内部。

进一步地，所述公转传动件包括：

公转盘，所述公转盘与所述公转电机传动连接，所述自转电机安装于所述公转盘上。

进一步地，所述密封件包括：

电机罩，所述电机罩罩设于所述自转电机和所述自转磁流体密封轴外，所述电机罩通过波纹管与所述公转电机的空心轴相连接，所述自转电机的电机线经所述波纹管的内部进入所述公转电机的空心轴内部。

进一步地，所述自转电机设置有多组，各所述自转电机分别通过所述自转磁流体密封轴与所述基片一一对应地相连接。

进一步地，所述公转传动件与所述公转电机的空心转子相连接，所述公转电机的定子通过公转磁流体密封轴与所述真空室相连接。

进一步地，还包括：

卡盘，所述基片通过所述卡盘可拆卸地安装于所述自转磁流体密封轴。

在上述一种或几种具体实施方式中，本实用新型所提供的工件盘镀膜装置具有如下技术效果：