[实用新型]一种晶圆膜厚检测设备的定位夹持机构

权利要求书

1.一种晶圆膜厚检测设备的定位夹持机构，包括主体机构（1），其特征在于：所述主体机构（1）包括外壳（110），所述外壳（110）的内部通过轴承座插设有升降机构（2），所述升降机构（2）包括第一连接杆（210）、齿轮（220）、第一伺服电机（230）、皮带轮（240），所述第一连接杆（210）的表面固定套接有齿轮（220），所述第一连接杆（210）的背面固定有第一伺服电机（230），所述第一连接杆（210）的表面套接有皮带轮（240），所述外壳（110）的内部插设有夹持组件（3），所述夹持组件（3）包括第一固定板（310）、第二连接杆（320）、第二伺服电机（330）、第三连接杆（340）、第四连接杆（350）、第五连接杆（360）、第二固定板（370）、第六连接杆（380）、弹簧（390）、第七连接杆（3100）、橡皮垫（3110）、第八连接杆（3120）、第九连接杆（3130）、第三固定板（3140）、固定块（3150）、第十连接杆（3160），所述第一固定板（310）的内部插设有第二连接杆（320），且第二连接杆（320）的顶端固定有第二伺服电机（330），所述第二连接杆（320）的内部插设有第三连接杆（340），且第三连接杆（340）的底端固定有第四连接杆（350），所述第四连接杆（350）的两侧铰接有第五连接杆（360），且第五连接杆（360）的外侧固定有第二固定板（370），所述第二固定板（370）的底端固定有第六连接杆（380），且第六连接杆（380）的表面套接有弹簧（390），所述第六连接杆（380）的表面套接有第七连接杆（3100），且第七连接杆（3100）的底端固定有橡皮垫（3110），所述第二固定板（370）靠近外壳（110）的一侧固定有第八连接杆（3120），且第八连接杆（3120）的顶端铰接有第九连接杆（3130），所述第九连接杆（3130）的顶端固定有第三固定板（3140），且第三固定板（3140）的内部插设有固定块（3150），所述第三固定板（3140）的上表面固定有第十连接杆（3160）。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆膜厚检测设备的定位夹持机构，其特征在于：所述第三连接杆（340）的表面设置有螺纹，所述第二连接杆（320）的内部设置有与第三连接杆（340）相适配的螺纹，所述第三连接杆（340）插设在第二连接杆（320）的内部。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆膜厚检测设备的定位夹持机构，其特征在于：所述弹簧（390）的顶端与第二固定板（370）固定连接，所述弹簧（390）的底端与第七连接杆（3100）固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆膜厚检测设备的定位夹持机构，其特征在于：所述第三固定板（3140）的两侧设置有滑块，所述外壳（110）的内部设置有与滑块相适配的滑槽，所述滑块插设在外壳（110）的滑槽内部。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆膜厚检测设备的定位夹持机构，其特征在于：所述固定块（3150）为环形结构，所述固定块（3150）的顶端固定有第二连接杆（320），所述第三固定板（3140）的内部设置有环形滑槽，所述固定块（3150）插设在第三固定板（3140）的内部。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆膜厚检测设备的定位夹持机构，其特征在于：所述第十连接杆（3160）的表面设置有与齿轮（220）相适配的齿牙，所述齿轮（220）与第十连接杆（3160）相啮合。