[实用新型]一种芯片贴装辅助装置有效
申请号: | 202021990797.1 | 申请日: | 2020-09-11 |
公开(公告)号: | CN212725250U | 公开(公告)日: | 2021-03-16 |
发明(设计)人: | 任鸿波 | 申请(专利权)人: | 贵州航天电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 贵州派腾知识产权代理有限公司 52114 | 代理人: | 张祥军 |
地址: | 550009 贵州*** | 国省代码: | 贵州;52 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 辅助 装置 | ||
1.一种芯片贴装辅助装置,其特征在于:包括支座(1)和吸附板(5),所述支座(1)上设有腔体固定部件,所述吸附板(5)通过连接梁(4)与支座(1)可拆卸连接,所述吸附板(5)上设有凹槽(50),所述凹槽(50)的底部设有通孔(51),所述通孔(51)通过气接头和气管(6)与负压组件连接。
2.如权利要求1所述的芯片贴装辅助装置,其特征在于:所述凹槽(50)呈十字形。
3.如权利要求1所述的芯片贴装辅助装置,其特征在于:所述凹槽(50)位于吸附板(5)的中心位置,气孔(51)位于凹槽(50)的中心位置。
4.如权利要求1所述的芯片贴装辅助装置,其特征在于:所述负压组件为真空泵。
5.如权利要求1所述的芯片贴装辅助装置,其特征在于:所述腔体固定部件包括固定卡条(9)和夹紧组件,固定卡条(9)安装在支座(1)上,夹紧组件与固定卡条(9)活动连接。
6.如权利要求5所述的芯片贴装辅助装置,其特征在于:所述夹紧组件包括导杆(2),导杆(2)与固定卡条(9)滑动连接,导杆(2)的一端设有活动卡条(3),另一设有推钮(7),固定卡条(9)与推钮(7)之间设有复位件(8)。
7.如权利要求6所述的芯片贴装辅助装置,其特征在于:所述复位件(8)为弹簧,弹簧套装在导杆(2)上。
8.如权利要求6所述的芯片贴装辅助装置,其特征在于:所述导杆(2)与固定卡条(9)、活动卡条(3)垂直。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造