[实用新型]MEMS麦克风

权利要求书

1.一种MEMS麦克风，其特征在于，所述MEMS麦克风包括：

壳体，所述壳体设置有进声孔；以及

防护膜，所述防护膜设置在所述壳体上，所述防护膜包括罩盖所述进声孔的膜本体，所述膜本体设置有褶环部，所述褶环部包括多个相互环绕的环形褶纹，多个所述环形褶纹沿径向间隔排布。

2.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述膜本体具有与所述进声孔对应的中心区，以及位于所述中心区外周的环周区；其中，

所述中心区设置有所述褶环部；或者，

所述环周区设置有所述褶环部；或者，

所述中心区和所述环周区均设置有所述褶环部。

3.如权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，设置在所述中心区的褶环部的最外圈环形褶纹，与设置在所述环周区的褶环部的最内圈环形褶纹圆滑过渡衔接。

4.如权利要求1至3任意一项所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述壳体包括基板及设置在所述基板上的封盖；其中，

所述基板设置有所述进声孔；或者，

所述封盖设置有所述进声孔。

5.如权利要求4所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述封盖包括顶板及设置在所述顶板的环周并与所述基板连接的围板；其中，在所述封盖的顶板设置所述进声孔。

6.如权利要求1至3任意一项所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述防护膜设置在所述壳体的外侧，以自所述壳体的外侧罩盖所述进声孔的外端。

7.如权利要求6所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述MEMS麦克风还包括罩盖所述防护膜的盖板，所述盖板设置在所述防护膜的背对所述进声孔的一侧，所述盖板设置有与所述进声孔相对的透声孔。

8.如权利要求1至3任意一项所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述防护膜还包括设置在所述膜本体的相对两侧面的两个固定片，两个所述固定片配合夹持于所述膜本体的周缘，以将所述膜本体夹持固定。

9.如权利要求8所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述防护膜的固定片与所述壳体的封盖采用粘性材料连接。

10.如权利要求1至3任意一项所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述MEMS麦克风还包括MEMS芯片和ASIC芯片，所述MEMS芯片和所述ASIC芯片安装在所述壳体内，所述MEMS芯片和所述ASIC芯片电性连接。