[实用新型]MEMS麦克风

说明书

本实用新型公开一种MEMS麦克风，所述MEMS麦克风包括壳体和防护膜；其中，所述壳体设置有进声孔；所述防护膜包括设置在所述壳体上并罩盖所述进声孔的膜本体，所述膜本体设置有褶环部，所述褶环部包括多个相互环绕的环形褶纹，多个所述环形褶纹沿径向间隔排布。本实用新型的MEMS麦克风，能够增强防护膜的延展性，以减少防护膜在装配过程中被拉扯而出现不规则褶皱的情况出现。

技术领域

本实用新型涉及麦克风技术领域，特别涉及一种MEMS麦克风。

背景技术

MEMS(微型机电系统)麦克风是基于MEMS技术制造的麦克风，能够应用到电子设备中作为声电转换装置。MEMS麦克风通常会配置有用以罩盖进声孔的防护膜，以防止外部环境中的粉尘或液体或强气流等直接从进声孔落入到MEMS麦克风的内部。然而，常规的防护膜通常是呈平片状设置的一整个平面膜，其延展性能较差，在装配防护膜的过程中，防护膜容易被拉扯而出现不规则褶皱甚至破裂，进而导致防护膜受损而降低其声学性能。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提出一种MEMS麦克风，旨在增强防护膜的延展性，以减少防护膜在装配过程中被拉扯而出现不规则褶皱的情况出现。

为实现上述目的，本实用新型提出一种MEMS麦克风，所述MEMS麦克风包括壳体和防护膜；其中，所述壳体设置有进声孔；所述防护膜设置在所述壳体上，所述防护膜包括罩盖所述进声孔的膜本体，所述膜本体设置有褶环部，所述褶环部包括多个相互环绕的环形褶纹，多个所述环形褶纹沿径向间隔排布。

可选地，所述膜本体具有与所述进声孔对应的中心区，以及位于所述中心区外周的环周区；其中，所述中心区设置有所述褶环部；或者，所述环周区设置有所述褶环部；或者，所述中心区和所述环周区均设置有所述褶环部。

可选地，设置在所述中心区的褶环部的最外圈环形褶纹，与设置在所述环周区的褶环部的最内圈环形褶纹圆滑过渡衔接。

可选地，所述壳体包括基板及设置在所述基板上的封盖；其中，所述基板设置有所述进声孔；或者，所述封盖设置有所述进声孔。

可选地，所述封盖包括顶板及设置在所述顶板的环周并与所述基板连接的围板；其中，在所述封盖的顶板设置所述进声孔。

可选地，所述防护膜设置在所述壳体的外侧，以自所述壳体的外侧罩盖所述进声孔的外端。

可选地，所述MEMS麦克风还包括罩盖所述防护膜的盖板，所述盖板设置在所述防护膜的背对所述进声孔的一侧，所述盖板设置有与所述进声孔相对的透声孔。

可选地，所述防护膜还包括设置在所述膜本体的相对两侧面的两个固定片，两个所述固定片配合夹持于所述膜本体的周缘，以将所述膜本体夹持固定。

可选地，所述防护膜的固定片与所述壳体的封盖采用粘性材料连接。

可选地，所述MEMS麦克风还包括MEMS芯片和ASIC芯片，所述MEMS芯片和所述ASIC芯片安装在所述壳体内，所述MEMS芯片和所述ASIC芯片电性连接。

本实用新型的技术方案，通过在膜本体上设置了褶环部，该褶环部具有多个相互环绕的环形褶纹，多个环形褶纹以膜本体的中心向其外周间隔排布，从而使得膜本体能够在该褶环部处沿膜本体的径向发生伸缩形变，膜本体能够获得一定的沿其径向向外延展开的延展空间，以适应缓冲在装配过程中膜本体受到的拉扯力，有效减少膜本体被拉扯而出现不规则褶皱或破裂的情况，进而确保膜本体具有较佳的声学性能。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。