[实用新型]一种光学真空镀膜机用深冷屏蔽罩有效
| 申请号： | 202021994245.8 | 申请日： | 2020-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN213232475U | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 齐国防 | 申请（专利权）人： | 东光县益丰机械有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 沧州市国瑞专利代理事务所(普通合伙) 13138 | 代理人： | 赵东阳 |
| 地址： | 061600 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光学 真空镀膜 机用深冷 屏蔽 | ||
1.一种光学真空镀膜机用深冷屏蔽罩，其特征在于，包括环形座(1)、内螺纹管(2)、外螺纹管(3)、四组内罩体板(4)、扩径环(5)和四组外罩体板(6)，所述四组内罩体板(4)均布于所述环形座(1)的顶端，所述四组内罩体板(4)的底端均与所述环形座(1)的顶端固定连接，所述内螺纹管(2)的顶端与所述环形座(1)的底端固定连接，所述四组内罩体板(4)的底部合围成锥形体，所述四组内罩体板(4)的上部合围成圆柱体，所述扩径环(5)的底端与所述外螺纹管(3)的顶端固定连接，所述外螺纹管(3)的底端自内螺纹管(2)的底端螺装穿过外螺纹管(3)自外螺纹管(3)的底端穿出，所述扩径环(5)与所述四组内罩体板(4)合围成的锥形体内壁紧密接触，所述四组外罩体板(6)分别固定设置于所述四组内罩体板(4)的外壁上，所述四组外罩体板(6)位于四组内罩体板(4)之间的间距处。
2.根据权利要求1所述的一种光学真空镀膜机用深冷屏蔽罩，其特征在于，所述内螺纹管(2)底部和外螺纹管(3)的底部均设置有紧固部(7)。
3.根据权利要求2所述的一种光学真空镀膜机用深冷屏蔽罩，其特征在于，所述扩径环(5)的外径与所述四组内罩体板(4)自然合围时形成的圆柱体内径等距。
4.根据权利要求3所述的一种光学真空镀膜机用深冷屏蔽罩，其特征在于，所述扩径环(5)的底端外壁周向均为圆角(8)。
5.根据权利要求4所述的一种光学真空镀膜机用深冷屏蔽罩，其特征在于，所述四组外罩体板(6)和四组内罩体板(4)通过铆钉铆接。
6.根据权利要求5所述的一种光学真空镀膜机用深冷屏蔽罩，其特征在于，所述四组内罩体板(4)和四组外罩体板(6)内壁均设置有镀银层(9)。
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