[实用新型]光路结构和蓝宝石衬底激光剥离设备

权利要求书

1.光路结构，其特征在于，包括激光器、光路、振镜和连接于该振镜下方的场镜；所述光路包括光路框架；所述激光器和所述振镜分别位于所述光路框架的两侧并与所述光路框架连通；所述光路框架内依次设有多个反射部件、扩束镜和整形镜，所述激光器发出的激光束经过所述反射部件反射引导，使激光束依次穿过所述扩束镜、所述整形镜、所述振镜和所述场镜，从而使得激光束从所述场镜射出。

2.根据权利要求1所述的光路结构，其特征在于：所述光路框架的两端分别设有第一激光束入口和第二激光束出口；所述第一激光束入口与所述激光器的激光束出口连通，所述第二激光束出口与所述振镜激光束入口连通；至少一所述反射部件位于靠近所述第一激光束入口位置，所述整形镜位于靠近所述第二激光束出口位置。

3.根据权利要求1所述的光路结构，其特征在于：所述反射部件包括安装于所述光路框架内的反射镜安装架，以及安装于所述反射镜安装架上的反射镜；所述反射镜能够相对所述反射镜安装架调节反射角度。

4.根据权利要求3所述的光路结构，其特征在于：所述反射镜安装架上延伸有支撑板，所述支撑板上设有一支撑杆，所述支撑板上还螺纹连接有两螺栓，两所述螺栓与所述支撑杆呈三角形分布，且两所述螺栓与所述支撑杆的端部均伸出所述支撑板的侧端；所述反射镜安装于一反射镜框架，所述反射镜框架与所述支撑板之间通过至少一弹簧连接，且所述反射镜框架背面与两所述螺栓和所述支撑杆抵接。

5.根据权利要求4所述的光路结构，其特征在于：两所述螺栓和所述支撑杆与所述反射镜框架抵接的一端均设有球形部，所述反射镜框架的背面设有圆锥形或半球形凹槽，每一球形部抵接于一所述凹槽内。

6.根据权利要求1-5任意一项所述的光路结构，其特征在于：所述光路框架为封闭框架；所述光路框架设有至少一连通其内部的进气口和出气口，所述出气口连接高压气体。

7.根据权利要求1-5任意一项所述的光路结构，其特征在于：所述整形镜还包括第五Z向模组；第五Z向模组安装于所述光路框架的侧壁，所述整形镜的侧端与第五Z向模组的滑块连接。

8.根据权利要求2所述的光路结构，其特征在于：所述激光器的激光束出口设有密封壳体，该密封壳体内设有倍频晶体模组，所述密封壳体的激光束出口与所述第一激光束入口连通，以使得所述倍频晶体模组与所述激光器呈一体设置。

9.根据权利要求2所述的光路结构，其特征在于：所述光路框架包括第一框架和第二框架；所述第一框架具有所述第一激光束入口和第一激光束出口，所述第一框架内部设有多个所述反射部件用于反射引导从所述第一激光束入口穿进的激光束从所述第一激光束出口传出；

所述第二框架具有第二激光束入口和所述第二激光束出口，所述第二激光束入口与所述第一激光束出口通过一传导管连通；所述第二框架内部依次安装有所述反射部件、所述扩束镜和所述整形镜，且所述反射部件靠近所述第二激光束入口，该反射部件用于将从所述第一激光束出口沿所述传导管传入的激光束反射至所述扩束镜，使得激光束依次穿过所述扩束镜、所述整形镜、所述振镜和所述场镜。

10.蓝宝石衬底激光剥离设备，其特征在于：具有权利要求1-9任意一项所述的光路结构。