[实用新型]光路结构和蓝宝石衬底激光剥离设备

说明书

本实用新型属于激光剥离设备技术领域，尤其涉及一种光路结构和蓝宝石衬底激光剥离设备，包括激光器、光路、振镜和连接于该振镜下方的场镜；光路包括光路框架；激光器和振镜分别位于光路框架的两侧并与光路框架连通；光路框架内依次设有多个反射部件、扩束镜和整形镜，激光器发出的激光束经过反射部件反射引导，使激光束依次穿过扩束镜、整形镜、振镜和场镜，从而使得激光束从场镜射出；由于整形镜和场镜均能对激光束进行聚焦，使得激光束的聚焦焦深长达1000～1200μm，对于蓝宝石基板上有翘曲的晶圆，在一定范围内也可保证激光束具有很稳定的剥离效果，使蓝宝石衬底剥离完全，从而使得剥离蓝宝石衬底的效果好。

技术领域

本实用新型属于激光剥离设备技术领域，尤其涉及一种光路结构和蓝宝石衬底激光剥离设备。

背景技术

激光剥离设备中的激光剥离环节实质上是一个单脉冲扫描的过程，因此对激光束的均匀度和稳定性有极高的要求。激光剥离技术通过利用高能脉冲激光束穿透蓝宝石基板，光子能量介于蓝宝石基板上的蓝宝石带隙和GaN带隙之间，对蓝宝石基板上的蓝宝石衬底与外延生长的GaN材料的交界面进行均匀扫描；GaN层大量吸收光子能量，并分解形成液态Ga和氮气，则可以实现蓝宝石衬底和GaN薄膜或GaN-LED芯片的分离，使得几乎可以在不使用外力的情况下，实现蓝宝石衬底的剥离。

其中，在激光剥离设备起到关键作用的是能发射激光束的光路结构，通过光路结构发射激光束穿透蓝宝石基板，从而实现蓝宝石衬底的剥离。但是，现有的光路结构发射的激光束稳定性不高，对于蓝宝石基板上有点翘曲的晶圆，会出现蓝宝石衬底剥离不彻底的现象，剥离效果不佳。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种光路结构和蓝宝石衬底激光剥离设备，旨在解决现有技术中现有的光路结构发射的激光束稳定性不高，对于蓝宝石基板上有点翘曲的晶圆，会出现蓝宝石衬底剥离不彻底的现象，剥离效果不佳的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型实施例提供的一种光路结构和蓝宝石衬底激光剥离设备，包括激光器、光路、振镜和连接于该振镜下方的场镜；所述光路包括光路框架；所述激光器和所述振镜分别位于所述光路框架的两侧并与所述光路框架连通；所述光路框架内依次设有多个反射部件、扩束镜和整形镜，所述激光器发出的激光束经过所述反射部件反射引导，使激光束依次穿过所述扩束镜、所述整形镜、所述振镜和所述场镜，从而使得激光束从所述场镜射出。

可选地，所述光路框架的两端分别设有第一激光束入口和第二激光束出口；所述第一激光束入口与所述激光器的激光束出口连通，所述第二激光束出口与所述振镜激光束入口连通；至少一所述反射部件位于靠近所述第一激光束入口位置，所述整形镜位于靠近所述第二激光束出口位置。

可选地，所述反射部件包括安装于所述光路框架内的反射镜安装架，以及安装于所述反射镜安装架上的反射镜；所述反射镜能够相对所述反射镜安装架调节反射角度。

可选地，所述反射镜安装架上延伸有支撑板，所述支撑板上设有一支撑杆，所述支撑板上还螺纹连接有两螺栓，两所述螺栓与所述支撑杆呈三角形分布，且两所述螺栓与所述支撑杆的端部均伸出所述支撑板的侧端；所述反射镜安装于一反射镜框架，所述反射镜框架与所述支撑板之间通过至少一弹簧连接，且所述反射镜框架背面与两所述螺栓和所述支撑杆抵接。

可选地，两所述螺栓和所述支撑杆与所述反射镜框架抵接的一端均设有球形部，所述反射镜框架的背面设有圆锥形或半球形凹槽，每一球形部抵接于一所述凹槽内。

可选地，所述光路框架为封闭框架；所述光路框架设有至少一连通其内部的进气口和出气口，所述出气口连接高压气体。

可选地，所述整形镜还包括第五Z向模组；第五Z向模组安装于所述光路框架的侧壁，所述整形镜的侧端与第五Z向模组的滑块连接。

可选地，所述激光器的激光束出口设有密封壳体，该密封壳体内设有倍频晶体模组，所述密封壳体的激光束出口与所述第一激光束入口连通，以使得所述倍频晶体模组与所述激光器呈一体设置。