[实用新型]一种具有固定结构的单晶硅片有效

专利信息
申请号: 202022000875.5 申请日: 2020-09-14
公开(公告)号: CN213483733U 公开(公告)日: 2021-06-18
发明(设计)人: 杨晓雯;潘宁 申请(专利权)人: 潘宁
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687;H01L31/18
代理公司: 济南文衡创服知识产权代理事务所(普通合伙) 37323 代理人: 郭晓丹
地址: 510000 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 具有 固定 结构 单晶硅
【权利要求书】:

1.一种具有固定结构的单晶硅片,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的一侧固定连接有缓冲垫(4),所述缓冲垫(4)的顶部活动连接有连接板(2),所述连接板(2)的一侧固定连接有硅片基体(3),所述底座(1)的底部开设有固定槽(7),所述固定槽(7)的内壁固定连接有第一弹簧固定板(8),所述第一弹簧固定板(8)的一侧固定连接有弹簧(9),所述弹簧(9)的一端固定连接有第二弹簧固定板(10),所述第二弹簧固定板(10)的一侧固定连接有卡板(11),所述卡板(11)的一侧固定连接有第一防滑垫(12),所述卡板(11)的另一侧固定连接有拉杆(13),所述拉杆(13)的外壁固定连接有握把(14)。

2.根据权利要求1所述的一种具有固定结构的单晶硅片,其特征在于:所述硅片基体(3)的顶部固定连接有保护层(5),所述保护层(5)为聚四氟乙烯层。

3.根据权利要求2所述的一种具有固定结构的单晶硅片,其特征在于:所述保护层(5)的顶部固定连接有绒面结构层(6),且绒面结构层(6)为微小的金字塔体绒面层。

4.根据权利要求1所述的一种具有固定结构的单晶硅片,其特征在于:所述底座(1)的一侧开设有凹槽,且凹槽的内壁与连接板(2)的一侧活动连接。

5.根据权利要求1所述的一种具有固定结构的单晶硅片,其特征在于:所述握把(14)的外壁固定连接有第二防滑垫(15),所述第二防滑垫(15)为橡胶防滑垫。

6.根据权利要求1所述的一种具有固定结构的单晶硅片,其特征在于:所述底座(1)的数量为两个,且两个底座(1)以硅片基体(3)的垂直中线为对称轴对称设置。

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