[实用新型]一种镀膜稳定的真空镀膜机

权利要求书

1.一种镀膜稳定的真空镀膜机，包括控制柜（1），其特征在于：所述控制柜（1）的右端固定设置有凹槽（2），所述凹槽（2）的右端固定安装有风机（3），所述控制柜（1）的前端固定设置有散热孔（4），所述控制柜（1）的上端固定安装有顶板（5），所述控制柜（1）的前端位于散热孔（4）的下侧固定安装有真空气压计（6），所述真空气压计（6）的左侧位于控制柜（1）的前端固定安装有控制按钮（7），所述控制柜（1）的左端固定安装有电机室（8），所述电机室（8）与控制柜（1）的下端固定安装有万向轮（9），所述电机室（8）的上端固定安装有镀膜室（10），所述镀膜室（10）的前端固定安装有启闭盖（11），所述镀膜室（10）的上端固定安装有涡轮分子泵（12）。

2.根据权利要求1所述的一种镀膜稳定的真空镀膜机，其特征在于：所述涡轮分子泵（12）的下端固定安装有连通管（13），所述连通管（13）位于镀膜室（10）的内部，所述连通管（13）的下端固定安装有气压阀（14），所述电机室（8）的内部固定安装有旋转电机（15），所述旋转电机（15）传动端的外端固定安装有联轴器（16），所述旋转电机（15）的传动端通过联轴器（16）固定连接有旋转轴（17）。

3.根据权利要求2所述的一种镀膜稳定的真空镀膜机，其特征在于：所述旋转轴（17）的外端固定安装有固定轴承（18），所述旋转轴（17）的上端固定安装有旋转盘（19），所述固定轴承（18）位于旋转盘（19）的下端，所述旋转盘（19）的上端固定安装有基片盘（20），所述基片盘（20）的外侧位于旋转盘（19）的上端固定安装有定位杆（21）。

4.根据权利要求3所述的一种镀膜稳定的真空镀膜机，其特征在于：所述旋转盘（19）的外侧位于镀膜室（10）的内部固定安装有钟罩（22），所述钟罩（22）位于定位杆（21）的外端，所述钟罩（22）的下端固定安装有电动推杆（23）。

5.根据权利要求4所述的一种镀膜稳定的真空镀膜机，其特征在于：所述电动推杆（23）位于旋转盘（19）的上端并延伸至旋转盘（19）的下端，所述电动推杆（23）延伸至电机室（8）的内部，所述电动推杆（23）位于定位杆（21）的外侧，所述钟罩（22）的内部固定安装有激光溅射器（24），所述激光溅射器（24）的下端固定安装有靶材腔（25），所述靶材腔（25）位于基片盘（20）的上侧，所述基片盘（20）的上端固定设置有基片槽（26）。

6.根据权利要求4所述的一种镀膜稳定的真空镀膜机，其特征在于：所述电动推杆（23）的外端固定安装有限位环（27），所述限位环（27）分别位于旋转盘（19）的上侧和下侧，所述钟罩（22）的内部固定安装有气压传感器（28），所述气压传感器（28）的下端固定安装有控制器（29），所述控制器（29）位于激光溅射器（24）的左侧，所述控制器（29）与气压阀（14）电性连接。