[实用新型]一种镀膜稳定的真空镀膜机

说明书

本实用新型公开了一种镀膜稳定的真空镀膜机，包括控制柜，所述控制柜的右端固定设置有凹槽，所述凹槽的右端固定安装有风机，所述控制柜的前端固定设置有散热孔，所述控制柜的上端固定安装有顶板，所述控制柜的前端位于散热孔的下侧固定安装有真空气压计，所述真空气压计的左侧位于控制柜的前端固定安装有控制按钮，所述控制柜的左端固定安装有电机室，所述电机室与控制柜的下端固定安装有万向轮，所述电机室的上端固定安装有镀膜室，所述镀膜室的前端固定安装有启闭盖，所述镀膜室的上端固定安装有涡轮分子泵。该镀膜稳定的真空镀膜机，能够保证镀膜时部件状态的平稳性和工作环境的稳定性，镀膜质量高，使用寿命长，自动化程度高，便捷性好。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体为一种镀膜稳定的真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种。

然而目前常用的真空镀膜机，镀膜时不够稳定，工作质量不够高，便捷性较差，使用寿命低，自动化程度不高，不能满足使用需求。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种镀膜稳定的真空镀膜机，以解决上述背景技术中提出目前常用的真空镀膜机，镀膜时不够稳定，工作质量不够高，便捷性较差，使用寿命低，自动化程度不高，不能满足使用需求的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种镀膜稳定的真空镀膜机，包括控制柜，所述控制柜的右端固定设置有凹槽，所述凹槽的右端固定安装有风机，所述控制柜的前端固定设置有散热孔，所述控制柜的上端固定安装有顶板，所述控制柜的前端位于散热孔的下侧固定安装有真空气压计，所述真空气压计的左侧位于控制柜的前端固定安装有控制按钮，所述控制柜的左端固定安装有电机室，所述电机室与控制柜的下端固定安装有万向轮，所述电机室的上端固定安装有镀膜室，所述镀膜室的前端固定安装有启闭盖，所述镀膜室的上端固定安装有涡轮分子泵。

优选的，所述涡轮分子泵的下端固定安装有连通管，所述连通管位于镀膜室的内部，所述连通管的下端固定安装有气压阀，所述电机室的内部固定安装有旋转电机，所述旋转电机传动端的外端固定安装有联轴器，所述旋转电机的传动端通过联轴器固定连接有旋转轴。

优选的，所述旋转轴的外端固定安装有固定轴承，所述旋转轴的上端固定安装有旋转盘，所述固定轴承位于旋转盘的下端，所述旋转盘的上端固定安装有基片盘，所述基片盘的外侧位于旋转盘的上端固定安装有定位杆。

优选的，所述旋转盘的外侧位于镀膜室的内部固定安装有钟罩，所述钟罩位于定位杆的外端，所述钟罩的下端固定安装有电动推杆。

优选的，所述电动推杆位于旋转盘的上端并延伸至旋转盘的下端，所述电动推杆延伸至电机室的内部，所述电动推杆位于定位杆的外侧，所述钟罩的内部固定安装有激光溅射器，所述激光溅射器的下端固定安装有靶材腔，所述靶材腔位于基片盘的上侧，所述基片盘的上端固定设置有基片槽。

优选的，所述电动推杆的外端固定安装有限位环，所述限位环分别位于旋转盘的上侧和下侧，所述钟罩的内部固定安装有气压传感器，所述气压传感器的下端固定安装有控制器，所述控制器位于激光溅射器的左侧，所述控制器与气压阀电性连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、该镀膜稳定的真空镀膜机，通过安装固定轴承和定位杆，可以保证旋转盘工作平稳、固定，从而大大提高了基片盘工作的稳定性，通过安装钟罩，可以保证工作环境有尽可能高的密封且真空，大大提高了装置的工作质量；

2、该镀膜稳定的真空镀膜机，通过安装电动推杆，当需要添加要镀膜的基片时，可以通过电动推杆上移钟罩，再通过启闭盖放置基片至基片槽内，大大提高了装置的便捷性；