[实用新型]一种热处理装置

权利要求书

1.一种热处理装置，其特征在于，包括：加热腔室、开合装置、加热装置、固定装置和导热板，

所述加热腔室包括上腔室和下腔室，所述加热装置位于所述上腔室，所述上腔室的一侧和所述下腔室的一侧转动连接；

所述开合装置位于所述上腔室的外壁；

所述导热板位于所述上腔室和所述下腔室之间，所述导热板的侧壁设有凸出部；

所述上腔室的侧壁设有至少一组固定孔，所述加热装置设置于所述固定孔中，所述加热装置的末端从所述固定孔中伸出，并延伸至所述固定装置的外部；

所述固定装置连接于所述加热腔室的外壁，用于将所述加热装置固定在所述固定孔内。

2.根据权利要求1所述的热处理装置，其特征在于，所述凸出部的倒角为钝角，所述下腔室的侧壁设有开口容纳所述凸出部。

3.根据权利要求1所述的热处理装置，其特征在于，所述导热板为石英板，以密封方式分隔所述上腔室和所述下腔室。

4.根据权利要求1所述的热处理装置，其特征在于，所述下腔室设有载台，用于承载热处理对象。

5.根据权利要求1所述的热处理装置，其特征在于，还包括风冷组件，所述风冷组件连接于所述上腔室的外壁，所述风冷组件设有进气口和多个出气孔，所述出气孔轴线与所述固定孔轴线平行。

6.根据权利要求1所述的热处理装置，其特征在于，还包括压力平衡管，所述压力平衡管连通并贯穿所述上腔室的侧壁和所述下腔室的侧壁。

7.根据权利要求1所述的热处理装置，其特征在于，所述上腔室为立方体，所述固定孔为直孔，每组所述直孔之间相互平行，所述直孔贯穿所述上腔室的两个相对侧壁，或只贯穿所述上腔室的一个侧壁。

8.根据权利要求7所述的热处理装置，其特征在于，所述上腔室设有多组所述固定孔，所述多组固定孔设置为单层或多层。

9.根据权利要求8所述的热处理装置，其特征在于，多组所述固定孔设置为上下两层，下层设有多组所述固定孔，上层设有多组所述固定孔，上层所述多组固定孔在垂直方向上分别设置于下层所述固定孔的两端。

10.根据权利要求1所述的热处理装置，其特征在于，所述加热装置为功率可调的热辐射灯管，还包括控制电路，所述控制电路用于控制所述热辐射灯管的功率；还包括石英管，所述石英管的外壁与所述固定孔的外周密封连接，所述热辐射灯管设置于所述石英管内。