[实用新型]一种螺纹立式组装硅舟

权利要求书

1.一种螺纹立式组装硅舟，其特征在于，包括：

安装板，安装板包括天板和法兰，天板和法兰间隔布置；

沟棒，沟棒布置在天板和法兰之间，沟棒上沿其长度方向设有若干个沟齿，沟棒的数目为若干个且沿安装板的周向间隔布置；

安装板靠近沟棒的端面上设有对沟棒限位的卡槽，卡槽中设有沿安装板厚度方向贯通的安装孔，沟棒与安装板通过紧固件可拆卸连接；

沟棒包括两根前沟棒和一根后沟棒，前沟棒和后沟棒上处于同一高度的沟齿配合形成硅片放置槽，两个前沟棒之间的距离大于前沟棒和后沟棒之间的距离。

2.根据权利要求1所述一种螺纹立式组装硅舟，其特征在于，安装板的中心位置设有沿其厚度方向贯通的减料孔，若干个沟齿沿沟棒的长度方向平行等间距布置。

3.根据权利要求2所述一种螺纹立式组装硅舟，其特征在于，卡槽包括两个前卡槽和一个后卡槽，后卡槽沿安装板的径向布置，前卡槽与后卡槽之间的夹角为锐角，两个前卡槽之间的夹角为钝角。

4.根据权利要求1或2所述一种螺纹立式组装硅舟，其特征在于，卡槽沿安装板法向的投影呈直角梯形状，卡槽沿其长度方向的一端贯通安装板的周面，安装孔的数目为两个且沿卡槽的长度方向间隔布置。

5.根据权利要求1或2所述一种螺纹立式组装硅舟，其特征在于，所述安装孔为柱形沉孔。

6.根据权利要求1或2所述一种螺纹立式组装硅舟，其特征在于，所述紧固件为螺栓，螺栓由硅材料制成，沟棒沿其长度方向的两端均设有内螺纹孔，内螺纹孔与螺栓螺纹配套。

7.根据权利要求1或2所述一种螺纹立式组装硅舟，其特征在于，所述硅舟由高纯度的多晶硅制成。

8.根据权利要求1或2所述一种螺纹立式组装硅舟，其特征在于，沟齿的截面呈直角梯形状，沟齿沿其宽度方向的两侧分别设有一个镂空区域。