[实用新型]具有固定以及冷却功能结构的真空镀膜机

权利要求书

1.一种具有固定以及冷却功能结构的真空镀膜机，包括外机壳(1)，所述的外机壳(1)内具有中空的内腔(2)，其特征在于，所述的内腔(2)中设置有磁控溅射机构(3)以及可横向移动的置放机构(4)，所述的置放机构(4)设置于磁控溅射机构(3)的下部，所述的置放机构(4)与外机壳(1)的底部之间形成有冷却室(5)，所述的冷却室(5)内设置有可上下移动的移动板(6)，所述的移动板(6)上端设有用于置放机构(4)固定以及加快置放机构(4)上废料冷却的凸块结构(7)。

2.根据权利要求1所述的具有固定以及冷却功能结构的真空镀膜机，其特征在于，所述移动板(6)的两端横向水平架设于外机壳(1)上，所述外机壳(1)与移动板(6)相配合的位置处里开设有供移动板(6)上下移动的滑槽(8)，所述外机壳(1)的底端设置有用于驱动移动板(6)上下移动的驱动器(9)。

3.根据权利要求1所述的具有固定以及冷却功能结构的真空镀膜机，其特征在于，所述的凸块结构(7)包括若干设置于移动板(6)上表面上并且向上突起的定位块(10)，每个所述的定位块(10)具有工作端朝向置放机构(4)的冷却流道(11)，所述的移动板(6)上设置有与每个定位块(10)内部冷却流道(11)相连通的通气道(12)，所述的外机壳(1)上设有可往通气道(12)内通气的通气机(13)。

4.根据权利要求3所述的具有固定以及冷却功能结构的真空镀膜机，其特征在于，所述通气道(12)与通气机(13)相配合的进气端开设于移动板(6)的侧表面上。

5.根据权利要求3所述的具有固定以及冷却功能结构的真空镀膜机，其特征在于，所述的置放机构(4)包括连接于外机壳(1)上可横向抽拉的工作台(14)，所述工作台(14)具有用于放置工件的上工作面(15)以及与定位块(10)相配合的下工作面(16)，所述的上工作面(15)与下工作面(16)之间形成有集屑腔(17)，所述的集屑腔(17)内设置有可相对工作台(14)进行抽拉的用于收集废料的集屑板(18)。

6.根据权利要求5所述的具有固定以及冷却功能结构的真空镀膜机，其特征在于，所述的上工作面(15)上开设有供废屑掉落至集屑板(18)上的上开孔(19)，所述的上开孔(19)均匀的分布于上工作面(15)上。

7.根据权利要求5所述的具有固定以及冷却功能结构的真空镀膜机，其特征在于，所述下工作面(16)上开设有供定位块(10)穿入至集屑腔(17)内的下开孔(20)。

8.根据权利要求5所述的具有固定以及冷却功能结构的真空镀膜机，其特征在于，所述的外机壳(1)与工作台(14)之间连接有若干个导向结构(21)。

9.根据权利要求8所述的具有固定以及冷却功能结构的真空镀膜机，其特征在于，外机壳(1)上开设有用于容纳导向结构(21)的排槽(22)，若干所述的导向结构(21)均匀排列于排槽(22)中。

10.根据权利要求9所述的具有固定以及冷却功能结构的真空镀膜机，其特征在于，所述的导向结构(21)包括导向轮(23)以及连接导向轮(23)与外机壳(1)的转轴(24)，所述的导向轮(23)容纳于排槽(22)中可沿工作台(14)的运动方向滚动。