[实用新型]具有固定以及冷却功能结构的真空镀膜机

说明书

本实用新型提供了一种具有固定以及冷却功能结构的真空镀膜机，属于镀膜设备技术领域。它解决了现有真空镀膜机性能差等问题。本具有固定以及冷却功能结构的真空镀膜机，包括外机壳，外机壳内具有中空的内腔，内腔中设置有磁控溅射机构以及可横向移动的置放机构，置放机构设置于磁控溅射机构的下部，置放机构与外机壳的底部之间形成有冷却室，冷却室内设置有可上下移动的移动板，移动板上端设有用于置放机构固定以及加快置放机构上废料冷却的凸块结构。本实用新型具有性能稳定的优点。

技术领域

本实用新型属于镀膜设备技术领域，涉及一种具有固定以及冷却功能结构的真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延和PLD激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种，需要镀膜的被成为基片，镀的材料被成为靶材，基片与靶材同在真空腔中，蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜，对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。

现有镀膜机上的工作板大多都是通过电机来进行驱动的，由于整个驱动结构设置于镀膜机的内部，其存在结构复杂难维护的缺点，同时，镀膜产生的废料都是直接落入至外机壳的底表面上，靶材废料在不断的累积过程中会呈胶状存在，存在难清理的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对上述问题，提供一种具有固定以及冷却功能结构的真空镀膜机。

为达到上述目的，本实用新型采用了下列技术方案：

一种具有固定以及冷却功能结构的真空镀膜机，包括外机壳，所述的外机壳内具有中空的内腔，所述的内腔中设置有磁控溅射机构以及可横向移动的置放机构，所述的置放机构设置于磁控溅射机构的下部，所述的置放机构与外机壳的底部之间形成有冷却室，所述的冷却室内设置有可上下移动的移动板，所述的移动板上端设有用于置放机构固定以及加快置放机构上废料冷却的凸块结构。

在上述的具有固定以及冷却功能结构的真空镀膜机中，所述移动板的两端横向水平架设于外机壳上，所述外机壳与移动板相配合的位置处里开设有供移动板上下移动的滑槽，所述外机壳的底端设置有用于驱动移动板上下移动的驱动器。

在上述的具有固定以及冷却功能结构的真空镀膜机中，所述的凸块结构包括若干设置于移动板上表面上并且向上突起的定位块，每个所述的定位块具有工作端朝向置放机构的冷却流道，所述的移动板上设置有与每个定位块内部冷却流道相连通的通气道，所述的外机壳上设有可往通气道内通气的通气机。

在上述的具有固定以及冷却功能结构的真空镀膜机中，所述通气道与通气机相配合的进气端开设于移动板的侧表面上。

在上述的具有固定以及冷却功能结构的真空镀膜机中，所述的置放机构包括连接于外机壳上可横向抽拉的工作台，所述工作台具有用于放置工件的上工作面以及与定位块相配合的下工作面，所述的上工作面与下工作面之间形成有集屑腔，所述的集屑腔内设置有可相对工作台进行抽拉的用于收集废料的集屑板。

在上述的具有固定以及冷却功能结构的真空镀膜机中，所述的上工作面上开设有供废屑掉落至集屑板上的上开孔，所述的上开孔均匀的分布于上工作面上。

在上述的具有固定以及冷却功能结构的真空镀膜机中，所述下工作面上开设有供定位块穿入至集屑腔内的下开孔。

在上述的具有固定以及冷却功能结构的真空镀膜机中，所述的外机壳与工作台之间连接有若干个导向结构。

在上述的具有固定以及冷却功能结构的真空镀膜机中，外机壳上开设有用于容纳导向结构的排槽，若干所述的导向结构均匀排列于排槽中。