[实用新型]一种螺纹卧式组装硅舟有效
申请号: | 202022008761.5 | 申请日: | 2020-09-14 |
公开(公告)号: | CN214244673U | 公开(公告)日: | 2021-09-21 |
发明(设计)人: | 范明明;韩颖超;李长苏 | 申请(专利权)人: | 杭州盾源聚芯半导体科技有限公司 |
主分类号: | C30B33/02 | 分类号: | C30B33/02;C30B29/06 |
代理公司: | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人: | 郑汝珍 |
地址: | 310051 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 螺纹 卧式 组装 | ||
1.一种螺纹卧式组装硅舟,其特征在于,包括:
挡板,挡板包括间隔布置的第一挡板和第二挡板;
沟棒,沟棒位于第一挡板和第二挡板之间,沟棒包括第一连接端、承接段和第二连接端,承接段上设有沟齿;
沟棒包括限位沟棒和支撑沟棒,限位沟棒与支撑沟棒之间存在高度差;
挡板上设有沿其厚度方向贯通的导向孔,沟棒与挡板通过紧固件可拆卸连接;
所述挡板呈弧形板状,导向孔的数目为四个且沿挡板弧面方向间隔布置,导向孔沿挡板法向的投影呈圆角矩形状。
2.根据权利要求1所述一种螺纹卧式组装硅舟,其特征在于,限位沟棒包括左限位沟棒和右限位沟棒,支撑沟棒沿挡板的宽度方向位于左限位沟棒和右限位沟棒之间,支撑沟棒包括左支撑沟棒和右支撑沟棒。
3.根据权利要求2所述一种螺纹卧式组装硅舟,其特征在于,沟齿的数目为若干个且沿承接段的长度方向等间距布置,相邻两个沟齿配合形成一个插槽,左限位沟棒、右限位沟棒、左支撑沟棒和右支撑沟棒上对应位置的插槽配合形成用以插装硅片的硅片槽。
4.根据权利要求1所述一种螺纹卧式组装硅舟,其特征在于,第一连接端包括第一过渡段和第一螺纹段,导向孔的孔径大于第一螺纹段的直径,第一过渡段的一端与承接段相连,第一过渡段的另一端与第一螺纹段相连。
5.根据权利要求1所述一种螺纹卧式组装硅舟,其特征在于,第二连接端包括第二过渡段和第二螺纹段,导向孔的孔径大于第二螺纹段的直径,第二过渡段的一端与承接段相连,第二过渡段的另一端与第二螺纹段相连。
6.根据权利要求1或2所述一种螺纹卧式组装硅舟,其特征在于,所述紧固件为螺母,螺母位于挡板远离沟棒的一侧,螺母与第一连接端、第二连接端螺母配合。
7.根据权利要求1或2所述一种螺纹卧式组装硅舟,其特征在于,所述硅舟由高纯度的直拉法多晶硅制成。
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