[实用新型]一种半导体加工清洗用机械手

权利要求书

1.一种半导体加工清洗用机械手，包括底座(1)、机械手(2)和伺服电机(3)，所述机械手(2)固定安装于底座(1)上，其特征在于，所述机械手(2)的自由端固定安装有连接板(4)，所述伺服电机(3)固定安装于连接板(4)的顶部，所述连接板(4)的底部开设有两个滑槽(5)，两个所述滑槽(5)内均滑动设有滑块(6)，两块所述滑块(6)的底部均固定安装有夹板(7)，两块所述夹板(7)的相向面上均固定安装有固定块(8)，所述固定块(8)内开设有腔室(9)，所述腔室(9)内滑动设有贯穿其侧壁设置的缓冲机构，所述伺服电机(3)的驱动轴固定连接有转动贯穿连接板(4)设置的升降机构，所述升降机构与两块夹板(7)之间均转动连接有连接杆(10)，所述升降机构的底部固定安装有限位机构。

2.根据权利要求1所述的一种半导体加工清洗用机械手，其特征在于，所述缓冲机构包括滑动设于腔室(9)内的活塞板(11)，所述活塞板(11)与腔室(9)的一端侧壁之间固定连接有缓冲弹簧(12)，所述活塞板(11)的另一端侧壁上固定安装有滑动贯穿腔室(9)侧壁设置的连接块(13)，所述连接块(13)的侧壁上固定安装有缓冲板(14)。

3.根据权利要求2所述的一种半导体加工清洗用机械手，其特征在于，所述缓冲板(14)的底部呈斜角设置。

4.根据权利要求1所述的一种半导体加工清洗用机械手，其特征在于，所述升降机构包括与伺服电机(3)驱动轴固定连接的螺纹杆(15)，所述螺纹杆(15)转动贯穿连接板(4)设置，所述螺纹杆(15)上螺纹套设有内螺纹块(16)，所述连接杆(10)与内螺纹块(16)的侧壁转动连接，所述限位机构固定安装于内螺纹块(16)的底部。

5.根据权利要求1所述的一种半导体加工清洗用机械手，其特征在于，所述限位机构包括固定安装于内螺纹块(16)底部上的两根限位杆(17)，两根所述限位杆(17)的底部固定安装有同一块限位板(18)。

6.根据权利要求1所述的一种半导体加工清洗用机械手，其特征在于，所述滑槽(5)和滑块(6)均呈T形设置。