[实用新型]一种半导体加工清洗用机械手

说明书

本实用新型公开了一种半导体加工清洗用机械手，包括底座、机械手和伺服电机，所述机械手固定安装于底座上，所述机械手的自由端固定安装有连接板，所述伺服电机固定安装于连接板的顶部，所述连接板的底部开设有两个滑槽，两个所述滑槽内均滑动设有滑块，两块所述滑块的底部均固定安装有夹板，两块所述夹板的相向面上均固定安装有固定块，所述固定块内开设有腔室，所述腔室内滑动设有贯穿其侧壁设置的缓冲机构。本实用新型通过夹板、固定块、腔室、缓冲弹簧、连接块和缓冲板之间的配合使用，实现了在夹取过程中，通过缓冲弹簧实现缓冲的目的，从而防止半导体被夹坏。

技术领域

本实用新型属于机械手技术领域，尤其涉及一种半导体加工清洗用机械手。

背景技术

半导体是指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在生产过程中，通过机械手夹取，然后放在水槽内，用水进行清洗，机械手是能够模仿人手和臂的自动操作装置。

现有的半导体加工清洗用机械手其机械爪在抓取半导体时，由于不具有缓冲的效果，容易将半导体夹坏，导致材料浪费，影响生产，为此我们提出了一种半导体加工清洗用机械手。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的不具有缓冲的效果的缺点，而提出的一种半导体加工清洗用机械手。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种半导体加工清洗用机械手，包括底座、机械手和伺服电机，所述机械手固定安装于底座上，所述机械手的自由端固定安装有连接板，所述伺服电机固定安装于连接板的顶部，所述连接板的底部开设有两个滑槽，两个所述滑槽内均滑动设有滑块，两块所述滑块的底部均固定安装有夹板，两块所述夹板的相向面上均固定安装有固定块，所述固定块内开设有腔室，所述腔室内滑动设有贯穿其侧壁设置的缓冲机构，所述伺服电机的驱动轴固定连接有转动贯穿连接板设置的升降机构，所述升降机构与两块夹板之间均转动连接有连接杆，所述升降机构的底部固定安装有限位机构。

优选地，所述缓冲机构包括滑动设于腔室内的活塞板，所述活塞板与腔室的一端侧壁之间固定连接有缓冲弹簧，所述活塞板的另一端侧壁上固定安装有滑动贯穿腔室侧壁设置的连接块，所述连接块的侧壁上固定安装有缓冲板。

优选地，所述缓冲板的底部呈斜角设置。

优选地，所述升降机构包括与伺服电机驱动轴固定连接的螺纹杆，所述螺纹杆转动贯穿连接板设置，所述螺纹杆上螺纹套设有内螺纹块，所述连接杆与内螺纹块的侧壁转动连接，所述限位机构固定安装于内螺纹块的底部。

优选地，所述限位机构包括固定安装于内螺纹块底部上的两根限位杆，两根所述限位杆的底部固定安装有同一块限位板。

优选地，所述滑槽和滑块均呈T形设置。

相比现有技术，本实用新型的有益效果为：

1、本实用新型通过夹板、固定块、腔室、缓冲弹簧、连接块和缓冲板之间的配合使用，实现了在夹取过程中，通过缓冲弹簧实现缓冲的目的，从而防止半导体被夹坏。

2、本实用新型通过伺服电机、螺纹杆、内螺纹块、限位杆和限位板之间的配合使用，实现在夹取半导体的过程中，通过内螺纹块带动限位板向半导体运动，实现对半导体限位的目的，防止半导体掉落。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种半导体加工清洗用机械手的结构示意图。

图2为图1中A处的局部放大图。

图中：1底座、2机械手、3伺服电机、4连接板、5滑槽、6滑块、7夹板、8固定块、9腔室、10连接杆、11活塞板、12缓冲弹簧、13连接块、14缓冲板、15螺纹杆、16内螺纹块、17限位杆、18限位板。

具体实施方式