[实用新型]一种晶体生长炉用防漏硅接漏桶装置有效
| 申请号： | 202022022244.3 | 申请日： | 2020-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN213596451U | 公开（公告）日： | 2021-07-02 |
| 发明（设计）人： | 杨金海 | 申请（专利权）人： | 浙江晶阳机电股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人： | 王家蕾 |
| 地址： | 314413 浙江省嘉*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 晶体生长 防漏 硅接漏 桶装 | ||
1.一种晶体生长炉用防漏硅接漏桶装置，其特征在于，包括：
防漏盘(10)，包括溢流槽(11)和溢流孔(12)，溢流孔(12)成对设置且对称设于溢流槽(11)内，防漏盘(10)设于石英坩埚的下方且石英坩埚侧壁的投影落入在溢流槽(11)内；
接料桶(20)，接料桶(20)通过导流管(30)与溢流孔(12)连通。
2.根据权利要求1所述的一种晶体生长炉用防漏硅接漏桶装置，其特征在于，防漏盘(10)的中心处设有轴孔(13)，轴孔(13)的周围均匀设置电极贯穿孔(14)。
3.根据权利要求1所述的一种晶体生长炉用防漏硅接漏桶装置，其特征在于，导流管(30)包括导管(31)和输出管(32)，输出管(32)的上部与导管(31)相连，输出管(32)的下部与接料桶(20)相连，且输出管(32)的下部延伸至接料桶(20)的内腔。
4.根据权利要求3所述的一种晶体生长炉用防漏硅接漏桶装置，其特征在于，输出管(32)的外侧管为不锈钢管，输出管(32)的内侧管为石墨管或陶瓷管。
5.根据权利要求1所述的一种晶体生长炉用防漏硅接漏桶装置，其特征在于，导流管(30)的外部设有真空管道(33)。
6.根据权利要求1所述的一种晶体生长炉用防漏硅接漏桶装置，其特征在于，接料桶(20)的内壁上设有内衬(21)。
7.根据权利要求6所述的一种晶体生长炉用防漏硅接漏桶装置，其特征在于，内衬(21)为氧化铝固化毡。
8.根据权利要求1所述的一种晶体生长炉用防漏硅接漏桶装置，其特征在于，防漏盘(10)为石墨材质。
9.根据权利要求1所述的一种晶体生长炉用防漏硅接漏桶装置，其特征在于，接料桶(20)设置于机架内部。
10.根据权利要求1所述的一种晶体生长炉用防漏硅接漏桶装置，其特征在于，接料桶(20)设置于机架的外部。
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