[实用新型]一种晶体生长炉用防漏硅接漏桶装置

说明书

本实用新型提供了一种晶体生长炉用防漏硅接漏桶装置，包括：防漏盘，包括溢流槽和溢流孔，溢流孔成对设置且对称设于溢流槽内，防漏盘设于石英坩埚的下方且石英坩埚侧壁的投影落入在溢流槽内；接料桶，接料桶通过导流管与溢流孔连通。本实用新型具有安全性高、方便使用的特点。

技术领域

本实用新型属于机械技术领域，涉及一种晶体生长炉用防漏硅接漏桶装置。

背景技术

单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。

现有技术中，在单晶硅拉制的过程中，如若高温硅液有泄漏，则高温的硅液会流入设备内，直接导致石英坩埚的破损、设备的损坏，更甚者会引起安全事故，提升拉晶的成本和风险。

综上所述，为解决现有的仓库在自动化管理上的不足，本实用新型设计了一种安全性高、方便使用的晶体生长炉用防漏硅接漏桶装置。

发明内容

本实用新型为解决现有技术存在的问题，提供了一种安全性高、方便使用的晶体生长炉用防漏硅接漏桶装置。

本实用新型的目的可通过以下技术方案来实现：

一种晶体生长炉用防漏硅接漏桶装置，包括：

防漏盘，包括溢流槽和溢流孔，溢流孔成对设置且对称设于溢流槽内，防漏盘设于石英坩埚的下方且石英坩埚侧壁的投影落入在溢流槽内；

接料桶，接料桶通过导流管与溢流孔连通。

作为本方案的进一步改进，防漏盘的中心处设有轴孔，轴孔的周围均匀设置电极贯穿孔。

作为本方案的进一步改进，导流管包括导管和输出管，输出管的上部与导管相连，输出管的下部与接料桶相连，且输出管的下部延伸至接料桶的内腔。

作为本方案的进一步改进，输出管的外侧管为不锈钢管，输出管的内侧管为石墨管或陶瓷管。

作为本方案的进一步改进，导流管的外部设有真空管道。

作为本方案的进一步改进，接料桶的内壁上设有内衬。

作为本方案的进一步改进，内衬为氧化铝固化毡。

作为本方案的进一步改进，防漏盘为石墨材质。

作为本方案的进一步改进，接料桶设置于机架内部。

作为本方案的进一步改进，接料桶设置于机架的外部。

与现有技术相比，本实用新型结构设计合理，通过石英坩埚下方的防漏盘承接高温硅液；由于防漏盘设于石英坩埚的下方且石英坩埚侧壁的投影落入在溢流槽内，高温硅液直接落入溢流槽内，再通过溢流孔留出，最终流过导流管，在接料桶内汇集，对比现有技术，有效避免了高温硅液流入设备内，损坏设备，设置于外部的接料桶对硅液进行收集，有效避免了安全事故的发生，实用性好。

附图说明

图1是本实用新型防漏盘的结构示意图。

图2是本实用新型防漏盘的另一结构示意图。

图3是本实用新型晶体生长炉用防漏硅接漏桶装置使用状态结构示意图。

图4是本实用新型晶体生长炉用防漏硅接漏桶装置另一使用状态结构示意图。

图中，10-防漏盘，11-溢流槽，12-溢流孔，13-轴孔，14-电极贯穿孔，20-接料桶，21-内衬，30-导流管，31-导管，32-输出管，33-真空管道。

具体实施方式