[实用新型]一种碱性蚀刻氨气冷凝回收利用装置有效

专利信息
申请号: 202022023659.2 申请日: 2020-09-15
公开(公告)号: CN213172592U 公开(公告)日: 2021-05-11
发明(设计)人: 刘仁和;蒋天伟 申请(专利权)人: 金禄电子科技股份有限公司
主分类号: C23F1/46 分类号: C23F1/46;B01D50/00;B01D47/06;B01D46/30
代理公司: 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 代理人: 罗晓林
地址: 511500 广东省清远市高新技术*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 碱性 蚀刻 氨气 冷凝 回收 利用 装置
【权利要求书】:

1.一种碱性蚀刻氨气冷凝回收利用装置,包括回收塔(1),其特征在于:所述回收塔(1)的左端中间部分设置有进气管(11),所述回收塔(1)的内侧顶部设置有风机(14),所述回收塔(1)的底部设置有驱动泵(12),所述驱动泵(12)的输出端设置有输出管(121),所述回收塔(1)的内侧上部设置有环流道(13),所述环流道(13)的内侧沿圆周均匀设置有多个雾化喷口(131),所述回收塔(1)的顶端设置有U型管(2),所述U型管(2)内可拆卸连接有干燥滤芯(21),所述U型管(2)远离回收塔(1)的一端设置有连通管(3),所述连通管(3)远离U型管(2)的一端设置有蒸发冷凝器(5),所述蒸发冷凝器(5)的输出端设置有出液口(51),所述连通管(3)的中间部分外侧设置有冷却管(4),所述冷却管(4)的内侧设置有均匀分布的螺旋肋(41),所述输出管(121)的右端与冷却管(4)的左端连通,所述冷却管(4)的顶端右部设置有回流管(42),所述回流管(42)远离冷却管(4)的一端穿过回收塔(1)与环流道(13)连接。

2.根据权利要求1所述的一种碱性蚀刻氨气冷凝回收利用装置,其特征在于:所述干燥滤芯(21)的材质为干燥棉,所述U型管(2)的内壁上设置有与干燥滤芯(21)相互适配的两组固定环(22),所述干燥滤芯(21)卡接于固定环(22)之间。

3.根据权利要求1所述的一种碱性蚀刻氨气冷凝回收利用装置,其特征在于:所述U型管(2)的中间部分顶端通过螺栓可拆卸连接有拆卸口(23),所述拆卸口(23)的长度大于干燥滤芯(21)的长度,所述拆卸口(23)与U型管(2)之间接触部分设置有密封胶。

4.根据权利要求1所述的一种碱性蚀刻氨气冷凝回收利用装置,其特征在于:所述连通管(3)的材质为铜铝合金。

5.根据权利要求1所述的一种碱性蚀刻氨气冷凝回收利用装置,其特征在于:所述环流道(13)通过焊接的方式固定连接于回收塔(1)的内部。

6.根据权利要求1所述的一种碱性蚀刻氨气冷凝回收利用装置,其特征在于:所述出液口(51)的远离蒸发冷凝器(5)的一端与蚀刻线氨水加注口连接。

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