[实用新型]一种带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉

权利要求书

1.一种带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉，其特征在于，包括：

上炉体(10)或隔离阀；

防晶棒掉落夹持装置(20)，若干防晶棒掉落夹持装置(20)均匀设于上炉体(10)或隔离阀上，防晶棒掉落夹持装置(20)包括驱动机构(21)、夹紧块(22)，驱动机构(21)的输出轴通过连接杆(23)与夹紧块(22)相连，在驱动机构(21)的驱动下，夹紧块(22)沿着上炉体或隔离阀轴线的方向伸缩。

2.根据权利要求1所述的一种带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉，其特征在于，夹紧块(22)为弧形。

3.根据权利要求1所述的一种带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉，其特征在于，夹紧块(22)的接触面上设有耐高温护垫。

4.根据权利要求3所述的一种带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉，其特征在于，耐高温护垫的材质为聚四氟乙烯。

5.根据权利要求1所述的一种带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉，其特征在于，防晶棒掉落夹持装置(20)设置的数量为a，满足数量关系a≥3，驱动机构(21)为气缸。

6.根据权利要求1所述的一种带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉，其特征在于，还包括防晶棒掉落控制系统，防晶棒掉落控制系统包括用于感知晶棒位移信号的传感器(32)、用于感知晶棒重量信号的传感器(31)、PLC控制器(30)、电源模块，电源模块分别与用于感知晶棒位移信号的传感器(32)、用于感知晶棒重量信号的传感器(31)、PLC控制器(30)连接，电源模块与驱动机构(21)相连。

7.根据权利要求6所述的一种带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉，其特征在于，还包括报警器(60)，报警器(60)与PLC控制器(30)连接，PLC控制器(30)根据位移信号和/或重量信号控制报警器(60)报警。