[实用新型]一种带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉

说明书

本实用新型提供了一种带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉，包括：上炉体或隔离阀；防晶棒掉落夹持装置，若干防晶棒掉落夹持装置均匀设于上炉体或隔离阀上，防晶棒掉落夹持装置包括驱动机构、夹紧块，驱动机构的输出轴通过连接杆与夹紧块相连，在驱动机构的驱动下，夹紧块沿着上炉体或隔离阀轴线的方向伸缩。本实用新型具有机构简单、维护方便、可靠性高的特点。

技术领域

本实用新型属于机械技术领域，涉及一种带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉。

背景技术

单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。

现有技术中，在单晶硅拉制过程中，硅棒重量也在不断增加，会存在籽晶绳断裂，硅棒掉落的安全事故。硅棒掉入石英坩埚内会到最后漏硅事故的发生，更甚者会造成重大财产损失和人员安全事故。

综上所述，为解决现有的单晶炉结构上的不足，本实用新型设计了一种机构简单、维护方便、可靠性高的带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉。

发明内容

本实用新型为解决现有技术存在的问题，提供了一种机构简单、维护方便、可靠性高的带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉。

本实用新型的目的可通过以下技术方案来实现：

一种带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉，包括：

上炉体或隔离阀；

防晶棒掉落夹持装置，若干防晶棒掉落夹持装置均匀设于上炉体或隔离阀上，防晶棒掉落夹持装置包括驱动机构、夹紧块，驱动机构的输出轴通过连接杆与夹紧块相连，在驱动机构的驱动下，夹紧块沿着上炉体或隔离阀轴线的方向伸缩。

作为本方案的进一步改进，夹紧块为弧形。

作为本方案的进一步改进，夹紧块的接触面上设有耐高温护垫。

作为本方案的进一步改进，耐高温护垫的材质为聚四氟乙烯。

作为本方案的进一步改进，防晶棒掉落夹持装置设置的数量为a，满足数量关系a≥3，驱动机构为气缸。

作为本方案的进一步改进，还包括防晶棒掉落控制系统，防晶棒掉落控制系统包括用于感知晶棒位移信号的传感器、用于感知晶棒重量信号的传感器、防晶棒掉落控制系统包括用于感知晶棒位移信号的传感器、用于感知晶棒重量信号的传感器、PLC控制器、电源模块，电源模块分别与用于感知晶棒位移信号的传感器、用于感知晶棒重量信号的传感器、PLC控制器连接，电源模块与驱动机构相连。

作为本方案的进一步改进，还包括报警器，报警器与PLC控制器连接，PLC 控制器根据位移信号和/或重量信号控制报警器报警。

与现有技术相比，本实用新型结构设计合理，有效的提高了晶棒掉落的快速反应，降低财产损失和人员伤亡，彻底解决了原技术作业产生的财产损失严重、人员伤亡的现象；再者，利用防晶棒掉落夹持装置20实现了对硅棒掉落的快速应急处理，有效降低晶棒掉落砸坏石英坩埚造成的漏硅现象，及更严重的设备损坏和人员伤亡，同时，因为其投入少，为企业减少安全隐患，便于推广。

附图说明

图1是本实用新型带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉的结构示意图。

图2是本实用新型防晶棒掉落夹持装置的结构示意图。

图3是实施例中的防晶棒掉落控制系统和带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉的结构示意图。

具体实施方式

下面结合实施例及附图，对本实用新型的技术方案作进一步的阐述。