[实用新型]一种高效的半导体生产用切割装置有效
申请号: | 202022035701.2 | 申请日: | 2020-09-17 |
公开(公告)号: | CN214447515U | 公开(公告)日: | 2021-10-22 |
发明(设计)人: | 陈新科 | 申请(专利权)人: | 江苏爱矽半导体科技有限公司 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00;B28D7/02;B28D7/00;H01L21/67;H05F3/00 |
代理公司: | 北京艾皮专利代理有限公司 11777 | 代理人: | 冯铁惠 |
地址: | 221122 江苏省徐州市徐州经济*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高效 半导体 生产 切割 装置 | ||
1.一种高效的半导体生产用切割装置,包括机体(1),其特征在于:所述机体(1)内侧固定连接于工作台(2),所述工作台(2)顶端中间固定连接于切割台(3),所述切割台(3)一相对外侧通过工作台(2)固定连接有导轨(4),所述导轨(4)外侧滑动连接有滑块(5),所述滑块(5)顶端固定连接有电晕电极(6),所述机体(1)两侧内部均匀设置有集尘电极(7),所述机体(1)一相对外侧固定连接有出风口(8),所述出风口(8)另一端固定连接有输风管(9),所述输风管(9)另一端固定连接有负压风机(10),所述机体(1)内部顶端固定连接有离子风机(11),所述机体(1)内部垂直于电晕电极(6)一侧固定连接有离子风嘴(12)。
2.根据权利要求1所述的一种高效的半导体生产用切割装置,其特征在于:所述机体(1)下端内侧固定连接有直角板(14),所述直角板(14)顶端固定连接于工作台(2)底端,所述直角板(14)下端滑动连接有抽屉(15),所述抽屉(15)外侧固定连接有第一把手(16)。
3.根据权利要求1所述的一种高效的半导体生产用切割装置,其特征在于:所述工作台(2)顶端边沿滑动连接有门板(17),所述门板(17)中间固定连接有玻璃(18),所述门板(17)外侧固定连接有第二把手(19)。
4.根据权利要求1所述的一种高效的半导体生产用切割装置,其特征在于:所述出风口(8)和输风管(9)通过固定环(20)固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种高效的半导体生产用切割装置,其特征在于:所述工作台(2)底端靠近机体(1)内侧固定连接有漏斗(13)。
6.根据权利要求1所述的一种高效的半导体生产用切割装置,其特征在于:所述电晕电极(6)和集尘电极(7)通过导线与电流放大器电性连接。
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