[实用新型]一种真空蒸发镀膜装置有效

专利信息
申请号: 202022042689.8 申请日: 2020-09-17
公开(公告)号: CN213327804U 公开(公告)日: 2021-06-01
发明(设计)人: 李长栋;魏承亚;魏俊杰 申请(专利权)人: 山东沐东真空科技有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/56
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 252000 山东省聊城市*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 真空 蒸发 镀膜 装置
【权利要求书】:

1.一种真空蒸发镀膜装置,包括壳体(1)和蒸发室(2),其特征在于:所述壳体(1)的内底壁与蒸发室(2)固定连接,所述蒸发室(2)内部设置有加热设备(3),所述蒸发室(2)的顶端开设有投射孔(4),所述壳体(1)的内侧壁固定连接有固定板(5),所述固定板(5)的一侧固定连接有齿条(6),所述齿条(6)的表面啮合有齿轮(7),所述齿轮(7)的内壁固定连接有电机(8),所述电机(8)的两端转动连接有活动块(9),所述活动块(9)远离固定板(5)的一端固定连接有基板(10),壳体(1)的上方设置有真空泵(11),壳体(1)的一侧固定连接有冷气管(12),所述壳体(1)的另一侧固定连接有单向阀(13),所述单向阀(13)的一端设置有温度检测仪(14)。

2.根据权利要求1所述的一种真空蒸发镀膜装置,其特征在于:所述固定板(5)的两侧两端均开设有限位槽(15),所述限位槽(15)的内壁活动连接有限位块(16),所述限位块(16)与活动块(9)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种真空蒸发镀膜装置,其特征在于:所述壳体(1)的顶端活动连接有密封盖(17),所述密封盖(17)通过合页(18)与壳体(1)活动连接,所述密封盖(17)顶端的中部与真空泵(11)固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种真空蒸发镀膜装置,其特征在于:所述密封盖(17)的一端固定连接有子卡块(19),所述子卡块(19)的底端卡接有母卡块(20),所述母卡块(20)与壳体(1)固定连接。

5.根据权利要求3所述的一种真空蒸发镀膜装置,其特征在于:所述密封盖(17)顶端的一侧固定连接有连接板,所述连接板的数量为两个,两个所述连接板之间固定连接有拉手(21)。

6.根据权利要求1所述的一种真空蒸发镀膜装置,其特征在于:所述壳体(1)的底端四角均固定连接有支撑腿(22),所述支撑腿(22)的底端设置有防滑纹。

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