[实用新型]一种真空蒸发镀膜装置有效
申请号: | 202022042689.8 | 申请日: | 2020-09-17 |
公开(公告)号: | CN213327804U | 公开(公告)日: | 2021-06-01 |
发明(设计)人: | 李长栋;魏承亚;魏俊杰 | 申请(专利权)人: | 山东沐东真空科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/56 |
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地址: | 252000 山东省聊城市*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 真空 蒸发 镀膜 装置 | ||
本实用新型公开了一种真空蒸发镀膜装置,包括壳体和蒸发室,壳体的内底壁与蒸发室固定连接,蒸发室内部设置有加热设备,蒸发室的顶端开设有投射孔,壳体的内侧壁固定连接有固定板,固定板的一侧固定连接有齿条,齿条的表面啮合有齿轮,齿轮的内壁固定连接有电机,电机的两端转动连接有活动块,活动块远离固定板的一端固定连接有基板。本实用新型在镀膜完成后,冷气管通过电子阀向壳体内输入冷气进行降温,因外界的气压大于内部,通过单向阀防止外界的空气进入,当内部的气压大于外界时,内部的气体通过单向阀向外排气,同时温度检测仪检测排出气体的温度,当排出气体温度低于外界温度时,停止散热,达到提高散热效果的目的。
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜技术领域,具体为一种真空蒸发镀膜装置。
背景技术
真空镀膜是一种由物理方法产生薄膜材料的技术,在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。此项技术最先用于生产光学镜片,如航海望远镜镜片等;后延伸到其他功能薄膜,唱片镀铝、装饰镀膜和材料表面改性等,如手表外壳镀仿金色,机械刀具镀膜,改变加工红硬性。
现有真空蒸发镀膜装置很难使,基本进行往复运动,从而减低镀膜的均匀效果,降低了装置的实用性,同时,现有真空蒸发镀膜装置不方便进行散热,需要将装置内部充满空气后,在进行散热,散热效果不佳,且无法满足使用需求。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种真空蒸发镀膜装置以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种真空蒸发镀膜装置,包括壳体和蒸发室,所述壳体的内底壁与蒸发室固定连接,所述蒸发室内部设置有加热设备,所述蒸发室的顶端开设有投射孔,所述壳体的内侧壁固定连接有固定板,所述固定板的一侧固定连接有齿条,所述齿条的表面啮合有齿轮,所述齿轮的内壁固定连接有电机,所述电机的两端转动连接有活动块,所述活动块远离固定板的一端固定连接有基板,壳体的上方设置有真空泵,壳体的一侧固定连接有冷气管,所述壳体的另一侧固定连接有单向阀,所述单向阀的一端设置有温度检测仪。
优选的,所述固定板的两侧两端均开设有限位槽,所述限位槽的内壁活动连接有限位块,所述限位块与活动块固定连接。
优选的,所述壳体的顶端活动连接有密封盖,所述密封盖通过合页与壳体活动连接,所述密封盖顶端的中部与真空泵固定连接。
优选的,所述密封盖的一端固定连接有子卡块,所述子卡块的底端卡接有母卡块,所述母卡块与壳体固定连接。
优选的,所述密封盖顶端的一侧固定连接有连接板,所述连接板的数量为两个,两个所述连接板之间固定连接有拉手。
优选的,所述壳体的底端四角均固定连接有支撑腿,所述支撑腿的底端设置有防滑纹。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
1、本实用新型通过电机、齿轮、齿条和固定板的设置,电机使齿轮转动,齿轮通过齿条带动活动块进行移动,从而带动基板进行往复运动,达到在镀膜时,增加镀膜的均匀性,提高镀膜效率,提高了装置的实用性。
2、本实用新型通过冷气管、单向阀和温度检测仪的设置,在镀膜完成后,冷气管通过电子阀向壳体内输入冷气进行降温,因外界的气压大于内部,通过单向阀防止外界的空气进入,当内部的气压大于外界时,内部的气体通过单向阀向外排气,同时温度检测仪检测排出气体的温度,当排出气体温度低于外界温度时,停止散热,达到提高散热效果的同时,满足使用需求。
附图说明
图1为本实用新型剖面的立体结构示意图;
图2为本实用新型正视的剖面结构示意图;
图3为本实用新型活动块的剖面结构示意图。
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