[实用新型]一种用于磁控溅射设备的旋转样品台有效

专利信息
申请号: 202022042727.X 申请日: 2020-09-17
公开(公告)号: CN213327817U 公开(公告)日: 2021-06-01
发明(设计)人: 李长栋;魏承亚;魏茂奎 申请(专利权)人: 山东沐东真空科技有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;C23C14/35
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 252000 山东省聊城市*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 磁控溅射 设备 旋转 样品
【权利要求书】:

1.一种用于磁控溅射设备的旋转样品台,包括柜体(1)和展示轮(2),其特征在于:所述柜体(1)上表面的两侧均开设有安装槽,所述安装槽的内部转动连接有展示轮(2),所述展示轮(2)的中心处固定连接有转轴(3),所述转轴(3)的中部套接有传动带(4),所述传动带(4)的底部套接有传动电机(5),所述柜体(1)的两端均设置有滑杆(6)和阻尼杆(7),所述滑杆(6)远离柜体(1)的一端滑动连接有定位螺栓(8),所述定位螺栓(8)的表面螺纹连接有显示屏本体(9),所述显示屏本体(9)两侧的下端均固定连接有连接块(10),所述连接块(10)与阻尼杆(7)活动连接,所述柜体(1)一侧的上部固定安装有控制按钮(11),所述控制按钮(11)与传动电机(5)之间为电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于磁控溅射设备的旋转样品台,其特征在于:所述柜体(1)底部的四角均固定安装有脚轮(12),所述脚轮(12)的表面均设置有橡胶层。

3.根据权利要求1所述的一种用于磁控溅射设备的旋转样品台,其特征在于:所述柜体(1)顶端的一侧设置有铰链,所述柜体(1)通过铰链活动连接有柜盖(13)。

4.根据权利要求3所述的一种用于磁控溅射设备的旋转样品台,其特征在于:所述柜盖(13)内顶壁的两侧均固定安装有照明灯板(14)。

5.根据权利要求1所述的一种用于磁控溅射设备的旋转样品台,其特征在于:所述展示轮(2)的表面设置有转杆(15),所述展示轮(2)通过转杆(15)转动连接有置物托架(16)。

6.根据权利要求1所述的一种用于磁控溅射设备的旋转样品台,其特征在于:所述柜体(1)背面的上部活动连接有检修门(17),所述检修门(17)的下方活动连接有放置舱门(18)。

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