[实用新型]一种用于磁控溅射设备的旋转样品台有效
申请号: | 202022042727.X | 申请日: | 2020-09-17 |
公开(公告)号: | CN213327817U | 公开(公告)日: | 2021-06-01 |
发明(设计)人: | 李长栋;魏承亚;魏茂奎 | 申请(专利权)人: | 山东沐东真空科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/35 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 252000 山东省聊城市*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 磁控溅射 设备 旋转 样品 | ||
本实用新型公开了一种用于磁控溅射设备的旋转样品台,包括柜体和展示轮,柜体上表面的两侧均开设有安装槽,安装槽的内部转动连接有展示轮,展示轮的中心处固定连接有转轴,转轴的中部套接有传动带,传动带的底部套接有传动电机,柜体的两端均设置有滑杆和阻尼杆,滑杆远离柜体的一端滑动连接有定位螺栓,定位螺栓的表面螺纹连接有显示屏本体,显示屏本体两侧的下端均固定连接有连接块。本实用新型通过传动电机、传动带、转轴和展示轮的设置,当成品制作完成后,人员可将覆在不同产品上的成品均放在展示轮上,在展示的过程中,通过传动电机带动传动带、转轴和展示轮旋转,在旋转时能够有效的将多种样品展示出来供人员观看。
技术领域
本实用新型涉及样品展示台技术领域,具体为一种用于磁控溅射设备的旋转样品台。
背景技术
在物理气相沉积(PVD)制备薄膜工艺中,溅射法是薄膜制备的主要方法之一,其中磁控溅射技术近年来日益受到重视,并成为沉积各种功能化合物薄膜的一种重要方法,磁控溅射法制备薄膜的主要优点为:沉积速率高;沉积原子的能量较高,薄膜的组织致密、附着力强;制备合金薄膜时,其成分的可控性好;由于磁控溅射技术的应用越来越广泛,无论是实验室还是工业化生产尤其是电子产品领域,磁控溅射技术已经成为一种很重要的技术之一,国内外设备制造商越来越重视磁控溅射设备的研制和开发;在国外,德国、美国、日本等先进发达国家研制出了一系列的适合实验室科研和满足工业化生产的磁控溅射设备;在国内,中科院沈阳科学仪器设备有限公司、中科科仪、国投南光等公司也相继开发和生产了一系列的磁控溅射设备,满足了国内科研和生产的需求。
当成品制作完成后,需对样品放置在展示台上进行展示,然而现有的样品台展示效果和展示样品单一,因此,我们提出了一种用于磁控溅射设备的旋转样品台。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种用于磁控溅射设备的旋转样品台以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种用于磁控溅射设备的旋转样品台,包括柜体和展示轮,所述柜体上表面的两侧均开设有安装槽,所述安装槽的内部转动连接有展示轮,所述展示轮的中心处固定连接有转轴,所述转轴的中部套接有传动带,所述传动带的底部套接有传动电机,所述柜体的两端均设置有滑杆和阻尼杆,所述滑杆远离柜体的一端滑动连接有定位螺栓,所述定位螺栓的表面螺纹连接有显示屏本体,所述显示屏本体两侧的下端均固定连接有连接块,所述连接块与阻尼杆活动连接,所述柜体一侧的上部固定安装有控制按钮,所述控制按钮与传动电机之间为电性连接。
优选的,所述柜体底部的四角均固定安装有脚轮,所述脚轮的表面均设置有橡胶层。
优选的,所述柜体顶端的一侧设置有铰链,所述柜体通过铰链活动连接有柜盖。
优选的,所述柜盖内顶壁的两侧均固定安装有照明灯板。
优选的,所述展示轮的表面设置有转杆,所述展示轮通过转杆转动连接有置物托架。
优选的,所述柜体背面的上部活动连接有检修门,所述检修门的下方活动连接有放置舱门。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
1、本实用新型通过传动电机、传动带、转轴和展示轮的设置,当成品制作完成后,人员可将覆在不同产品上的成品均放在展示轮上,在展示的过程中,通过传动电机带动传动带、转轴和展示轮旋转,在旋转时能够有效的将多种样品展示出来供人员观看。
2、本实用新型通过滑杆、阻尼杆和显示屏本体的设置,在展示样品时,人员可将显示屏本体以滑杆为圆心旋转至展示轮的上方,而后固定定位螺栓,使定位螺栓和阻尼杆限制显示屏本体的高度和角度,从而在展示中,显示屏本体可播放产品简介等,从而能够多元化的展示样品与产品。
附图说明
图1为本实用新型侧面的结构示意图;
图2为本实用新型背面的结构示意图;
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