[实用新型]重掺砷低电阻掺杂器具

权利要求书

1.一种重掺砷低电阻掺杂器具，其特征在于：包括石英盖、石英罩，所述石英罩的内部固定设置有混合引流件，所述混合引流件外壁的中间位置固定设置有支撑连接板，支撑连接板与石英罩的内壁固定连接，使支撑连接板、石英罩、混合引流件之间形成一个用于盛放固体砷的盛放腔，所述石英罩的顶部设置有定位凹台，所述石英盖设置在定位凹台内，石英盖的下端延伸至混合引流件内，且石英盖的下端与混合引流件的上端之间留有间隙，以便于挥发的砷能够沿着石英盖的外壁进入到混合引流件内部。

2.根据权利要求1所述的重掺砷低电阻掺杂器具，其特征在于：所述石英盖包括氩气分流板、气流加速腔，所述氩气分流板安装在定位凹台内，所述气流加速腔固定设置在氩气分流板的下部，且气流加速腔的下端延伸至混合引流件内。

3.根据权利要求2所述的重掺砷低电阻掺杂器具，其特征在于：所述氩气分流板上开设有进气孔，进气孔与气流加速腔的内部连通。

4.根据权利要求2所述的重掺砷低电阻掺杂器具，其特征在于：所述气流加速腔呈圆锥状，气流加速腔的上端开口大于下端开口。

5.根据权利要求1所述的重掺砷低电阻掺杂器具，其特征在于：所述混合引流件包括上部混合腔、下部引导管，所述混合腔设置在石英罩内部的中间位置，且混合腔的外壁与支撑连接板固定连接，所述下部引导管固定设置在混合腔的下端，且下部引导管的上端与混合腔的内部连通。

6.根据权利要求5所述的重掺砷低电阻掺杂器具，其特征在于：所述混合腔的上端开口大于气流加速腔下端开口，使混合腔的上端与气流加速腔下端之间留有间隙。

7.根据权利要求5所述的重掺砷低电阻掺杂器具，其特征在于：所述下部引导管的下端向下延伸至石英罩的外部。

8.根据权利要求1所述的重掺砷低电阻掺杂器具，其特征在于：所述石英罩的顶部固定设置有吊环。