[实用新型]低嵌位电压的单向TVS芯片结构有效
申请号: | 202022049564.8 | 申请日: | 2020-09-17 |
公开(公告)号: | CN212725317U | 公开(公告)日: | 2021-03-16 |
发明(设计)人: | 刘宗贺 | 申请(专利权)人: | 深圳长晶微电子有限公司 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/861 |
代理公司: | 深圳市宏德雨知识产权代理事务所(普通合伙) 44526 | 代理人: | 李捷 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙岗区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 低嵌位 电压 单向 tvs 芯片 结构 | ||
1.一种低嵌位电压的单向TVS芯片结构,其特征在于,包括:
P型衬底;
N型扩散区,设置在所述P型衬底一端,所述N型扩散区外侧被P型衬底包裹,N型扩散区一端露出P型衬底,另一端沉入P型衬底中;
N+扩散区,多个所述N+扩散区设置在所述P型衬底远离所述N型扩散区一端,所述N+扩散区外侧被P型衬底包裹,N+扩散区一端露出P型衬底,另一端沉入P型衬底中;
P+扩散区,多个所述P+扩散区设置在所述N型扩散区上,所述P+扩散区外侧被N型扩散区包裹,P+扩散区一端露出N型扩散区,另一端沉入N型扩散区;
表面结构,设置在所述N型扩散区远离P型衬底一端,用于芯片封装焊接;
第一金属电极,设置在所述N+扩散区远离P型衬底一端,用于封装电极焊接导电。
2.根据权利要求1所述的低嵌位电压的单向TVS芯片结构,其特征在于,所述表面结构包括:
钝化层,呈环状设置在所述N型扩散区上,用于保护N型扩散区与P型衬底形成的PN结,所述钝化层接触N型扩散区和P型衬底,且覆盖N型扩散区和P型衬底在端面的接触处,钝化层与P+扩散区之间存在间隙;
第二金属电极,覆盖在所述钝化层表面,覆盖在所述N型扩散区和P+扩散区表面,包括接电极和连接部,所述连接部凸出所述接电极覆盖在钝化层内侧,连接部接触所述N型扩散区和P+扩散区,所述第二金属电极与P型衬底之间通过钝化层隔离。
3.根据权利要求1所述的低嵌位电压的单向TVS芯片结构,其特征在于,多个所述P+扩散区间隔均匀,且在所述N型扩散区上排列呈网格状。
4.根据权利要求1所述的低嵌位电压的单向TVS芯片结构,其特征在于,多个所述N+扩散区间隔均匀,且在所述P型衬底上排列呈网格状。
5.根据权利要求1所述的低嵌位电压的单向TVS芯片结构,其特征在于,所述N+扩散区比所述P+扩散区的数量多。
6.根据权利要求1所述的低嵌位电压的单向TVS芯片结构,其特征在于,所述P型衬底和所述N+扩散区接触处形成第一PN结,P型衬底和所述N型扩散区接触处形成第二PN结,N型扩散区和所述P+扩散区接触处形成第三PN结。
7.根据权利要求6所述的低嵌位电压的单向TVS芯片结构,其特征在于,所述第一PN结和第二PN结之间有间隙,第二PN结和所述第三PN结之间有间隙。
8.根据权利要求1所述的低嵌位电压的单向TVS芯片结构,其特征在于,所述第一金属电极覆盖在所述N+扩散区和P型衬底表面。
9.根据权利要求1所述的低嵌位电压的单向TVS芯片结构,其特征在于,所述P+扩散区的厚度小于所述N型扩散区的厚度,P+扩散区露出N型扩散区的一端与N型扩散区表面平齐,P+扩散区沉入N型扩散区一端与N型扩散区沉入所述P型衬底一端存在间隙。
10.根据权利要求1所述的低嵌位电压的单向TVS芯片结构,其特征在于,所述P型衬底为块状,上下对称,P型衬底一端与N型扩散区、P+扩散区平齐,另一端与N+扩散区平齐。
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