[实用新型]一种掩膜版及彩膜基板

权利要求书

1.一种掩膜版，其特征在于，包括第一透明衬底基板，所述第一透明衬底基板的一侧面设有透过率为5-15%的第一光阻层，用于彩膜基板的遮光层，所述第一光阻层上开设有若干个第一通孔形成黑矩阵层，所述第一通孔用于彩膜基板中的彩色色阻的制作，所述黑矩阵层上还开设有第一全透孔；所述黑矩阵层的外表面还设有透过率为15%-40%的第二光阻层，所述第二光阻层和黑矩阵层上还开设有第二全透孔，所述第二全透孔用于彩膜基板的主柱状隔垫物的制作，所述第一全透孔由于第二光阻层的阻挡作用用于彩膜基板的辅柱状隔垫物的制作。

2.如权利要求1所述的一种掩膜版，其特征在于，所述第一全透孔的透光率由掩膜版的四周边界向中心处递减。

3.如权利要求1所述的一种掩膜版，其特征在于，所述主柱状隔垫物的顶部尺寸和底部尺寸的差值小于或等于预设阈值，所述辅柱状隔垫物的顶部尺寸和底部尺寸的差值小于或等于预设阈值。

4.如权利要求1所述的一种掩膜版，其特征在于，所述第一光阻层的材质为铬膜或者铬的化合物，所述第二光阻层的材质为铬膜或者铬的化合物。

5.如权利要求1所述的一种掩膜版，其特征在于，所述第一透明衬底基板的材质为石英玻璃基板。

6.如权利要求1所述的一种掩膜版，其特征在于，所述掩膜版的厚度为5-20mm。

7.一种彩膜基板，其特征在于，包括第二透明衬底基板，所述第二透明衬底基板的一侧面设有如权利要求1-6所述的掩膜版一次形成的遮光层、主柱状隔垫物层和辅柱状隔垫物层，所述遮光层上还开设有第二通孔，用于制作红色色阻R、绿色色阻G、以及蓝色色阻B。

8.如权利要求7所述的一种彩膜基板，其特征在于，所述彩膜基板的外侧表面还设有平坦层。