[实用新型]平板式PECVD设备的局部送气可调的辉光放电装置

权利要求书

1.一种平板式PECVD设备的局部送气可调的辉光放电装置，其特征在于：包括上电极板(1)、下电极板(2)和送气机构(3)，所述上电极板(1)和下电极板(2)间隔设置在PECVD设备的反应室(4)内，所述反应室(4)由腔盖(5)和腔体(6)构成，所述上电极板(1)安装在腔盖(5)上，所述下电极板(2)设于腔体(6)的底板上，所述上电极板(1)包括底盒(11)和多个主管路(12)，所述底盒(11)的下端面为喷淋板(13)，所述多个主管路(12)呈矩阵式分布在底盒(11)的上端面，且各主管路(12)向上延伸至腔盖(5)外，所述送气机构(3)包括多个送气组件(31)，所述送气组件(31)与主管路(12)一一对应，所述送气组件(31)包括送气支管(311)以及设于送气支管(311)上的流量计(312)和控制阀(313)，所述送气支管(311)与对应的主管路(12)连接。

2.根据权利要求1所述的平板式PECVD设备的局部送气可调的辉光放电装置，其特征在于：所述底盒(11)内设有匀流板(14)，所述匀流板(14)上设有多个均布的匀流孔(141)。

3.根据权利要求2所述的平板式PECVD设备的局部送气可调的辉光放电装置，其特征在于：所述匀流板(14)上下可调节的安装在底盒(11)内。

4.根据权利要求2所述的平板式PECVD设备的局部送气可调的辉光放电装置，其特征在于：所述匀流孔(141)的轴线与主管路(12)的轴线相互错开。

5.根据权利要求1至4任意一项所述的平板式PECVD设备的局部送气可调的辉光放电装置，其特征在于：所述送气支管(311)为具有阻断主管路(12)与送气机构(3)之间电接触的绝缘管路。

6.根据权利要求1至4任意一项所述的平板式PECVD设备的局部送气可调的辉光放电装置，其特征在于：所述腔盖(5)两端设有腔盖凸缘(51)，所述底盒(11)设于两个腔盖凸缘(51)之间，所述喷淋板(13)的底面与腔盖凸缘(51)的底面平齐。

7.根据权利要求1至4任意一项所述的平板式PECVD设备的局部送气可调的辉光放电装置，其特征在于：所述底盒(11)的上端面布有多个电极接线柱(15)，所述多个电极接线柱(15)均与匹配电路(61)连接，所述匹配电路(61)与电源(62)连接。

8.根据权利要求1至4任意一项所述的平板式PECVD设备的局部送气可调的辉光放电装置，其特征在于：所述底盒(11)通过支撑柱(71)安装在腔盖(5)上，所述支撑柱(71)上端穿设在腔盖(5)上，下端与底盒(11)固定连接，所述支撑柱(71)通过绝缘套(72)与腔盖(5)绝缘。

9.根据权利要求1至4任意一项所述的平板式PECVD设备的局部送气可调的辉光放电装置，其特征在于：所述底盒(11)与腔盖(5)之间设有真空绝缘板(73)，所述真空绝缘板(73)套在支撑柱(71)上；所述真空绝缘板(73)与腔盖(5)和底盒(11)之间设有真空密封圈(74)。

10.根据权利要求1至4任意一项所述的平板式PECVD设备的局部送气可调的辉光放电装置，其特征在于：所述下电极板(2)为负载板，所述负载板通过多个铜带与腔体(6)底板接通。