[实用新型]单晶炉循环水路的内撑工装有效
申请号: | 202022073988.8 | 申请日: | 2020-09-21 |
公开(公告)号: | CN215517721U | 公开(公告)日: | 2022-01-14 |
发明(设计)人: | 瞿建强 | 申请(专利权)人: | 江阴市光科光电精密设备有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B29/06 |
代理公司: | 无锡义海知识产权代理事务所(普通合伙) 32247 | 代理人: | 王威钦 |
地址: | 214400 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 单晶炉 循环 水路 工装 | ||
1.单晶炉循环水路的内撑工装,其特征在于,包括两块板状的内撑工装本体,两块内撑工装本体形状一致且均为半圆盘状,内撑工装本体其弧形侧面的曲率与单晶炉其内筒内壁的曲率相适配;两块内撑工装本体通过同步连接机构相连。
2.根据权利要求1所述的单晶炉循环水路的内撑工装,其特征在于,所述同步连接机构设有两组,每组同步连接机构包括两个固定设置在内撑工装本体上的固定座,两个固定座上转动设置丝杆,丝杆上设有螺母,螺母与内撑工装本体固定相连。
3.根据权利要求2所述的单晶炉循环水路的内撑工装,其特征在于,所述内撑工装本体其直径小于内筒直径;所述丝杆包括位于中部的光滑表面转动段以及位于转动段两侧的螺纹段,转动段两侧的螺纹段上的螺纹旋向相反,两个螺纹段上分别适配设有一个螺母;螺纹段上的螺纹采用细牙螺纹。
4.根据权利要求3所述的单晶炉循环水路的内撑工装,其特征在于,两组同步连接机构上的丝杆平行设置且丝杆垂直于半盘状内撑工装本体的平面侧面。
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