[实用新型]一种晶圆清洗设备的双面清洗组件

权利要求书

1.一种晶圆清洗设备的双面清洗组件，其特征在于，包括周向设置的三个U型轮，其中一个所述U型轮设置在导轨上，可以横向移动，其中一个所述U型轮与电机连接驱动，三个所述U型轮间固定设置有待加工晶圆，所述待加工晶圆远离导轨的一侧设置有清洗组件。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗设备的双面清洗组件，其特征在于，所述清洗组件包括输出电机，所述输出电机的输出轴固定连接第一矩形转动件，所述第一矩形转动件的两端靠近所述输出电机的一侧设置有固定台，所述固定台设置有竖直的连接杆，所述连接杆与所述固定台通过销轴旋转连接，所述固定台在第一矩形转动件的对称一侧设置有保护轮，所述保护轮设置对称的两个，两个所述保护轮的中心线位置设置有固定测试台，所述固定测试台上可拆卸安装有测试硬板，两个所述保护轮倾斜设置，分别处于所述测试硬板的上方和下方，所述连接杆另一端连接同步转轮，所述同步转轮设置在第二矩形转动件上，所述第二矩形转动件在与所述第一矩形转动件的固定台对应位置设置有对称的清洗电机，所述清洗电机同样设置对称的两个，所述清洗电机的输出轴贯穿所述同步转轮和第二矩形转动件且连接有清洗棒，所述第二矩形转动件的中心设置有转动中心，所述清洗棒与所述保护轮对应设置，且两个所述清洗棒分别位于所述待加工晶圆的上方和下方。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆清洗设备的双面清洗组件，其特征在于，所述输出电机采用伺服电机，所述清洗电机采用交流电机。

4.根据权利要求2所述的一种晶圆清洗设备的双面清洗组件，其特征在于，所述测试硬板设置多种厚度规格，且所述固定测试台上可拆卸安装所述测试硬板的方式为通过螺栓贯穿固定。