[实用新型]一种稳定性好的晶圆放置架

权利要求书

1.一种稳定性好的晶圆放置架，包括放置架本体(1)，其特征在于，所述放置架本体(1)内部中部靠上方间隔均匀固定连接有第一放置板(2)，所述放置架本体(1)中部靠下方间隔均匀固定连接有第二放置板(3)，所述放置架本体(1)下方左右两端均固定连接有支撑杆(7)的上端，所述支撑杆(7)下端固定连接有支脚(6)上表面中部，所述支脚(6)内部中部上下表面均滑动连接有滑块(14)，两个所述滑块(14)之间固定连接有磁性板(12)，所述磁性板(12)左右两侧均设置有两个配重稳定三角块(15)，两个所述配重稳定三角块(15)之间固定连接有连接杆(17)，所述连接杆(17)和支脚(6)下侧面不接触，所述支脚(6)左侧面中部滑动连接有第一稳定杆(13)，所述支脚(6)右侧面中部滑动连接有第二稳定杆(16)，所述第一稳定杆(13)左端下方固定连接有接地稳定板(11)，所述第二稳定杆(16)右端下方固定连接有接地稳定板(11)，所述接地稳定板(11)位于支脚(6)的外端，所述第一稳定杆(13)的右端和第二稳定杆(16)的左端均固定连接有磁性块(21)，所述磁性块(21)位于连接杆(17)上方固定的配重稳定三角块(15)远离磁性板(12)的侧面。

2.根据权利要求1所述的一种稳定性好的晶圆放置架，其特征在于，所述第一放置板(2)的重量和数量少于第二放置板(3)的重量和数量，所述第一放置板(2)和第二放置板(3)上表面均固定连接有减震海绵垫(4)。

3.根据权利要求1所述的一种稳定性好的晶圆放置架，其特征在于，所述支脚(6)左右两侧面均固定连接有翼板(8)，所述翼板(8)表面开设有两个定位螺孔(9)，所述定位螺孔(9)相配合于螺钉(10)。

4.根据权利要求1所述的一种稳定性好的晶圆放置架，其特征在于，所述支脚(6)下侧面开设有两个收纳槽(18)，所述连接杆(17)位于收纳槽(18)的中部，所述收纳槽(18)和配重稳定三角块(15)相匹配。

5.根据权利要求1所述的一种稳定性好的晶圆放置架，其特征在于，所述连接杆(17)的倾斜角度为五度到十度，所述连接杆(17)上端固定的配重稳定三角块(15)和磁性板(12)相接触。

6.根据权利要求1所述的一种稳定性好的晶圆放置架，其特征在于，所述支撑杆(7)内部左右两侧面均固定连接有粗糙面板(19)，所述支撑杆(7)内部盛放有阻尼油液(20)。

7.根据权利要求1所述的一种稳定性好的晶圆放置架，其特征在于，所述磁性板(12)和磁性块(21)的磁性相斥。