[实用新型]一种晶圆测试装置

权利要求书

1.一种晶圆测试装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)内部设置有测试组件；

所述测试组件包括液压缸(2)、圆筒(3)、电机(4)、套杆(5)、探针(6)、传动轴(7)、圆盘(8)、连接轴(9)、连杆(10)、滑块(11)和定位杆(12)，所述液压缸(2)输出端与圆筒(3)底部固定连接，所述圆筒(3)外侧设置有槽口(13)，所述圆筒(3)内壁固定连接有夹块(14)，所述电机(4)设置于圆筒(3)顶端，所述电机(4)输出端固定连接有丝杆(15)，所述丝杆(15)与套杆(5)螺纹连接，所述探针(6)固定连接于套杆(5)底端，所述传动轴(7)设置于丝杆(15)外侧，所述连接轴(9)设置于传动轴(7)远离丝杆(15)一端，所述圆盘(8)固定连接于连接轴(9)前端，所述连杆(10)设置于圆盘(8)前侧，所述圆盘(8)前侧固定连接有圆杆，所述圆杆贯穿连杆(10)并与连杆(10)转动连接，所述滑块(11)贯穿连杆(10)并与连杆(10)滑动连接，所述定位杆(12)贯穿滑块(11)并与滑块(11)滑动连接，所述滑块(11)设置于定位杆(12)和连杆(10)之间，所述定位杆(12)贯穿圆筒(3)并与圆筒(3)滑动连接，所述定位杆(12)延伸至圆筒(3)内部的一端设置于相邻两个夹块(14)之间，所述定位杆(12)外侧设置有套筒(16)，所述定位杆(12)贯穿套筒(16)并与套筒(16)滑动连接。

2.根据权利要求1所述一种晶圆测试装置，其特征在于：所述电机(4)固定连接于箱体(1)内部顶端，所述传动轴(7)两端均固定连接有第一锥齿轮，所述丝杆(15)外侧固定连接有与第一锥齿轮相啮合的第二锥齿轮，所述连接轴(9)外侧固定连接有与第一锥齿轮相啮合的第三锥齿轮。

3.根据权利要求1所述一种晶圆测试装置，其特征在于：所述连接轴(9)远离圆盘(8)一端与箱体(1)内壁转动连接，所述传动轴(7)顶端设置有竖板，所述传动轴(7)贯穿竖板并与竖板转动连接，所述竖板固定连接于箱体(1)内部顶端。

4.根据权利要求1所述一种晶圆测试装置，其特征在于：所述套杆(5)外侧设置有限位杆(17)，所述箱体(1)内侧壁上设置有限位槽，所述限位杆(17)通过限位槽与箱体(1)滑动连接。

5.根据权利要求1所述一种晶圆测试装置，其特征在于：所述套筒(16)外侧固定连接有支撑杆，所述支撑杆与箱体(1)固定连接。

6.根据权利要求1所述一种晶圆测试装置，其特征在于：所述连杆(10)表面开设有贯穿的滑槽，所述滑块(11)通过滑槽与连杆(10)滑动连接。

7.根据权利要求1所述一种晶圆测试装置，其特征在于：所述箱体(1)一侧铰接有门板(18)，所述门板(18)外侧固定连接有把手。

8.根据权利要求1所述一种晶圆测试装置，其特征在于：所述夹块(14)的数量设置为多个，相邻两个所述夹块(14)设置为一组。

9.根据权利要求1所述一种晶圆测试装置，其特征在于：所述圆筒(3)由不锈钢材料制成。

10.根据权利要求1所述一种晶圆测试装置，其特征在于：所述槽口(13)的数量设置为多个，多个所述槽口(13)呈线性阵列分布于圆筒(3)外侧，所述箱体(1)内部底端固定连接有导料板(19)，所述导料板(19)底部设置为弧面，所述箱体(1)内部底端设置有出料口，所述箱体(1)底端设置有输送设备。