[实用新型]等离子清洗机有效

专利信息
申请号: 202022116000.1 申请日: 2020-09-23
公开(公告)号: CN213856098U 公开(公告)日: 2021-08-03
发明(设计)人: 叶贤斌;李文强;杨建新;张凯 申请(专利权)人: 深圳泰德半导体装备有限公司
主分类号: B08B7/00 分类号: B08B7/00
代理公司: 深圳市恒程创新知识产权代理有限公司 44542 代理人: 孔德丞
地址: 518000 广东省深圳市坪山区龙田街*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 等离子 清洗
【权利要求书】:

1.一种等离子清洗机,其特征在于,所述等离子清洗机包括:

清洗机本体,所述清洗机本体包括工作台;

活动台,所述活动台可活动地安装于所述工作台上,所述活动台包括第一活动台和第二活动台,所述第一活动台与所述第二活动台在所述工作台上的位置可以切换;

夹持治具,所述夹持治具包括第一夹持治具和第二夹持治具,所述第一夹持治具安装于所述第一活动台上,所述第二夹持治具安装于所述第二活动台上;以及

腔体组件,所述腔体组件可选择性地盖合于所述第一活动台和所述第二活动台的其中之一而形成密封腔,以使得所述第一夹持治具和所述第二夹持治具可交替地处于所述密封腔内。

2.如权利要求1所述的等离子清洗机,其特征在于,所述腔体组件包括上盖腔体、下盖腔体及驱动装置,所述驱动装置用于驱动所述上盖腔体和所述下盖腔体进行上升或者下降调节;

所述工作台上设有工作区,所述上盖腔体设于所述工作区的上方,所述下盖腔体设于所述工作区的下方,所述第一活动台和所述第二活动台可交替地进入所述工作区,所述上盖腔体和所述下盖腔体与所述第一活动台和所述第二活动台的其中之一的上下两侧盖合而形成所述密封腔。

3.如权利要求1所述的等离子清洗机,其特征在于,所述活动台可滑动地安装于所述工作台上,以使得所述第一活动台与所述第二活动台通过滑动来切换位置;或者,所述活动台可转动地安装于所述工作台上,以使得所述第一活动台与所述第二活动台通过转动来切换位置。

4.如权利要求3所述的等离子清洗机,其特征在于,所述第一活动台包括第一活动本体和两个第一滑轨组件,两个所述第一滑轨组件相对设置的安装于所述工作台上,所述第一活动本体安装于两个所述第一滑轨组件上,所述第一活动本体的两端分别与两个所述第一滑轨组件滑动连接。

5.如权利要求4所述的等离子清洗机,其特征在于,所述第二活动台包括第二活动本体和两个第二滑轨组件,两个所述第二滑轨组件相对设置的安装于所述工作台上并位于两个所述第一滑轨组件之间,所述第二活动本体安装于两个所述第二滑轨组件上,所述第二活动本体的两端分别与两个所述第二滑轨组件滑动连接。

6.如权利要求5所述的等离子清洗机,其特征在于,所述活动台还包括传送机构,所述传送机构包括传送电机、传送带组件和传送固定件,所述传送固定件的数量为两个,其中一个所述传送固定件安装于所述传送带组件上并与所述第一活动本体固定连接,另外一个所述传送固定件安装于所述传送带组件上并与所述第二活动本体固定连接,所述传送电机能驱动所述传送带组件做往复运动,以使得所述第一活动本体与所述第二活动本体在所述工作台上的位置可以切换。

7.如权利要求2所述的等离子清洗机,其特征在于,所述上盖腔体包括上盖本体和第一电极,所述上盖本体具有空腔,所述第一电极设于所述空腔内;所述下盖腔体包括下盖本体、玻璃板和第二电极,所述玻璃板安装于所述下盖本体上,所述玻璃板上设有绝缘座,所述第二电极安装于所述绝缘座上。

8.如权利要求2所述的等离子清洗机,其特征在于,所述驱动装置包括上盖升降机构和下盖升降机构,所述上盖升降机构安装于所述工作台上并位于所述工作区的上方,所述上盖升降机构能驱动所述上盖腔体在所述工作区内进行上升或者下降调节,以使得所述上盖腔体可选择性地与所述第一活动台和所述第二活动台的其中之一盖合或者打开;所述下盖升降机构设于所述工作区的下方,所述下盖升降机构能驱动所述下盖腔体在所述工作区内进行上升或者下降调节,以使得所述下盖腔体可选择性地与所述第一活动台和所述第二活动台的其中之一盖合或者打开。

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