[实用新型]等离子清洗机

说明书

本实用新型提出一种等离子清洗机。等离子清洗机包括清洗机本体、活动台、夹持治具及腔体组件。其中，清洗机本体包括工作台；活动台可活动地安装于工作台上，活动台包括第一活动台和第二活动台，第一活动台与第二活动台在工作台上的位置可以切换；夹持治具包括第一夹持治具和第二夹持治具，第一夹持治具安装于第一活动台上，第二夹持治具安装于第二活动台上；腔体组件可选择性地盖合于第一活动台和第二活动台的其中之一而形成密封腔，以使得第一夹持治具和第二夹持治具可交替地处于密封腔内。本实用新型的等离子清洗机，能够解决现有等离子清洗机结构复杂的技术问题，降低等离子清洗机的制造成本。

技术领域

本实用新型涉及清洗技术领域，特别涉及一种等离子清洗机。

背景技术

等离子清洗机是利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。现有的等离子清洗机，在对夹持治具上的基板进行清洗时，通常是将夹持治具固定安装于腔体组件上，这样造成等离子清洗机的结构较为复杂，零件较多造成等离子清洗机的制造成本高。

因此，有必要提出一种等离子清洗机，以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提出一种等离子清洗机，旨在解决现有等离子清洗机结构复杂的技术问题，降低等离子清洗机的制造成本。

为实现上述目的，本实用新型提出一种等离子清洗机，所述等离子清洗机包括清洗机本体、活动台、夹持治具及腔体组件。其中，所述清洗机本体包括工作台；所述活动台可活动地安装于所述工作台上，所述活动台包括第一活动台和第二活动台，所述第一活动台与所述第二活动台在所述工作台上的位置可以切换；所述夹持治具包括第一夹持治具和第二夹持治具，所述第一夹持治具安装于所述第一活动台上，所述第二夹持治具安装于所述第二活动台上；所述腔体组件可选择性地盖合于所述第一活动台和所述第二活动台的其中之一而形成密封腔，以使得所述第一夹持治具和所述第二夹持治具可交替地处于所述密封腔内。

可选地，所述腔体组件包括上盖腔体、下盖腔体及驱动装置，所述驱动装置用于驱动所述上盖腔体和所述下盖腔体进行上升或者下降调节；所述工作台上设有工作区，所述上盖腔体设于所述工作区的上方，所述下盖腔体设于所述工作区的下方，所述第一活动台和所述第二活动台可交替地进入所述工作区，所述上盖腔体和所述下盖腔体与所述第一活动台和所述第二活动台的其中之一的上下两侧盖合而形成所述密封腔。

可选地，所述活动台可滑动地安装于所述工作台上，以使得所述第一活动台与所述第二活动台通过滑动来切换位置；或者，所述活动台可转动地安装于所述工作台上，以使得所述第一活动台与所述第二活动台通过转动来切换位置。

可选地，所述第一活动台包括第一活动本体和两个第一滑轨组件，两个所述第一滑轨组件相对设置的安装于所述工作台上，所述第一活动本体安装于两个所述第一滑轨组件上，所述第一活动本体的两端分别与两个所述第一滑轨组件滑动连接。

可选地，所述第二活动台包括第二活动本体和两个第二滑轨组件，两个所述第二滑轨组件相对设置的安装于所述工作台上并位于两个所述第一滑轨组件之间，所述第二活动本体安装于两个所述第二滑轨组件上，所述第二活动本体的两端分别与两个所述第二滑轨组件滑动连接。

可选地，所述活动台还包括传送机构，所述传送机构包括传送电机、传送带组件和传送固定件，所述传送固定件的数量为两个，其中一个所述传送固定件安装于所述传送带组件上并与所述第一活动本体固定连接，另外一个所述传送固定件安装于所述传送带组件上并与所述第二活动本体固定连接，所述传送电机能驱动所述传送带组件做往复运动，以使得所述第一活动本体与所述第二活动本体在所述工作台上的位置可以切换。

可选地，所述上盖腔体包括上盖本体和第一电极，所述上盖本体具有空腔，所述第一电极设于所述空腔内；所述下盖腔体包括下盖本体、玻璃板和第二电极，所述玻璃板安装于所述下盖本体上，所述玻璃板上设有绝缘座，所述第二电极安装于所述绝缘座上。